中古 MATTSON Suprema IM #9242047 を販売中
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MATTSON Suprema IMは、精密で精密な薄膜加工を可能にする機能を強化した高度なエッチングおよびアッシング装置です。優れた化学エッチング技術と優れた正確なプラズマエッチング技術を組み合わせたシステムです。これは、各プロセスステップの速度と持続時間を正確に制御するために電気化学を革新的に使用することによって達成されます。Suprema IMの堅牢で信頼性の高いエッチングとアッシング性能により、多くの薄膜およびフォトマスク処理およびデバイス製造アプリケーションにとって貴重なツールとなります。プラズマエッチングとケミカルエッチングの独自の組み合わせにより、シリコンウェハー、石英、サファイア、ガラスなど幅広い素材にフォトマスクなどの各種フィルムを作成することができます。この機械はまた異なった材料およびターゲット厚さのためのエッチングおよびashing調理法の広い選択をユーザーに与えます。MATTSON Suprema IMの他の機能には、エッチングおよびアッシング速度の精密制御、均一性、および超高レベルの再現性があります。さらに、このツールのオンボードの高度なエレクトロニクスは、正確で再現性の高いエッチプロファイルを確保するのに役立ちます。標準化されたプロセスレシピは、繰り返し可能な結果を得るための一貫したデータも提供します。高度な技術と高いエッチングとアッシング性能を備えたSuprema IMは、薄膜およびフォトマスク処理アプリケーションにとって貴重なツールです。このアセットは、事前に決定された厚さのデバイスを確実に作成し、垂直尾根やその他の機能を備えたデバイスを製造することもできます。このデバイスは、高価で複雑な機器に投資する必要なく、ハイエンドの薄膜性能を求めるユーザーにとっても最適です。
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