中古 MATTSON Suprema IM #9241281 を販売中

MATTSON Suprema IMは、200 mmまでの基板処理用に設計された自動プラズマベースのウェットエッチングおよびアッシング装置です。半導体、薄膜、MEMSデバイスの製造や、シリコン、GaAs、ポリイミドなどのエッチング基板の加工に最適です。汎用性の高いプラットフォームは、200 mmまでの基板サイズを持つ単一のツールでエッチングおよびアッシングする機能をユーザーに提供します。Suprema IMは、高純度のガス供給、正確なプラズマ制御、高度なプロセス操作のための温度制御を組み込んだ高度なエッチングシステムです。Conac™導電性エッチングファーストケミストリーを活用し、シリコン基板から金属、誘電体など幅広い材料を1つの工具で処理します。MATTSON Suprema IMのエッチング機能は、低温動作により汚染を最小限に抑え、基板品質を維持しながら複数のエッチング工程を可能にします。エッチングに加えて、Suprema IMはプラズマベースのアッシング処理も備えています。それは単一のプロセスで高レベルの灰の選択性を作り出す制御揮発性プラズマ灰プロセスを提供します。このプロセスは、遠隔プラズマまたは誘導結合プラズマ（ICP）を利用して、誘電性残留膜の低温灰の除去を提供します。単位の酸性化学薬品は処理された材料に優秀なレベルの清潔さを提供します。MATTSON Suprema IMは、包括的なターンキーパッケージで構成可能で、処理チャンバごとにさまざまなユーザー設定を備えており、最適な再現性を提供します。また、Windows/Macベースのユーザーインターフェイスを提供しており、プロセスレシピ、データシステムへの接続、リモートマシンアクセスなどのさまざまな機能を制御できます。データベース機能を利用して、ユーザーはレシピを保存してリコールし、パラメータ設定を保存してプロセスの実行を高速化できます。効率的なメンテナンスとトラブルシューティングを確実にするために、Suprema IMは予測保守プラットフォームを提供します。これは、マシンを監視し、ユーザーに問題や潜在的な問題を警告する統合プラットフォームです。このツールは、運転中の危険物への露出を減らすための高度な安全機能を備えています。全体として、MATTSON Suprema IMは、半導体、薄膜、MEMSデバイス製造における幅広い用途に適した高度で汎用性の高いウェットエッチングおよびアッシングツールです。高度に構成可能なユーザープラットフォーム、自動化されたデータベース、メンテナンスの予測、生産性と歩留まりの向上のための高度な安全機能を備えています。