中古 MATTSON Suprema IM #9241280 を販売中

MATTSON Suprema IMは、ハイエンド半導体生産環境において高度なプロセス柔軟性とコスト効率を実現するように設計されたエンジニアツーオーダー（ETO）ドライエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、汎用性の高いプロセス開発のための包括的なプラットフォーム、高性能デバイスのための拡張されたツール機能、および顧客ニーズのための高度な統合とソフトウェアサポートを提供します。Suprema IMユニットは、独自のプラズマソースを使用することで、より高い性能安定性と効率レベルを実現します。この源は調節可能なパワー制御およびガスの大気のよりよい制御を提供するように設計されています。プラズマ源はまた、材料表面に強い化学吸収パターンを提供します。また、トリプルゾーンのフロー制御と広範囲の温度制御機能を備え、加工精度を向上させます。このツールには、高精度のプロセスウィンドウも装備されています。このウィンドウは、正確なプロセス制御と再現性を保証し、お客様のアプリケーションでより高い歩留まりを達成することができます。この資産には、プロセスとデータ収集のコンピュータ制御のための規定も装備されています。これにより、お客様は、プロセス手順、材料の動き、および膜厚の検出/分析を監視することができます。これらの機能に加えて、MATTSON Suprema IMモデルは、信頼性が高く、現場での保守性が高いように設計されています。この装置には、電源、電源制御、通信などの冗長コンポーネントが装備されており、故障時に簡単に交換できます。さらに、効率的なメンテナンスと品質保証プロセスがシステムに組み込まれ、ユニット部品の最高品質と機械の性能を保証します。このツールには、お客様が最高のプロセスパフォーマンスを達成するための組み込みソフトウェアツールも含まれています。これには、MATTSON独自のプロセス制御ソフトウェアと顧客が提供するソフトウェアが含まれます。ソフトウェアは、お客様が独自のプロセスレシピをカスタマイズすることができ、データのレビュー、分析、およびプロセス制御のためのさまざまなユーティリティを提供します。Suprema IMは、プロセスの柔軟性とコスト効率をお客様に提供するために設計された、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャー資産です。その高度な機能と機能は、お客様がアプリケーションで可能な限り最高のパフォーマンスを達成できるように設計されています。さらに、メンテナンス機能とソフトウェアツールは、お客様のニーズに最適です。