中古 MATTSON Paradigm #9222745 を販売中

MATTSON Paradigmは、電子業界でマイクロチップやその他のコンポーネントの製造に使用される、洗練された信頼性の高いアッシャー（またはエッチャー）です。これは、複雑な電子部品の大量生産のために設計されており、プロセス制御をエッチングするための自動マルチチャンバー装置を備えています。パラダイムは複数の相互接続されたチャンバーで構成されている。EMD（エッチングチャンバー）は、主なチャンバーであり、目的のマイクロチップパターンを達成するために8方向の移動が可能な2つの精密スピンドルを備えています。ARC（アークルーム）は第2チャンバーであり、薄膜蒸着のための高精度な環境を提供するように設計されています。最後に、LE（レーザー彫刻チャンバー）は、チップパターン設計時に高解像度と精度を実現するように設計されています。MATTSON Paradigmは、エッチング操作の精密制御のためのユーザー編集可能な設定を備えたプロセス制御システムも備えています。エッチングパラメータはオペレータによってさらに微調整され、最適な効率と精度が得られます。ユニットは、複数のレシピを保存し、簡単にアクセスすることができます。これにより、1台のマシンから複数のジョブを実行し、さまざまな材料を同時に処理することができます。最高レベルの精度と精度を確保するために、Paradigmは高度な機械診断を利用しています。これには、エッチング室の温度と圧力、スピンドル位置、レーザービーム力、パターンの向き、残りのフォトレジストの量の継続的な監視が含まれます。これらのパラメータは各ジョブに保存され、チップパターンの精度と歩留まりを最大化するために再調整されます。MATTSONはまたエッチング部屋の温度を保護し、エッチングされたフィルムの均一性を促進する独特な熱浸し用具を提供します。これによりエッチングチャンバーの寿命が延び、より高いスループットを実現します。全体として、MATTSON Paradigmは複雑な部品設計の大量生産に理想的なソリューションです。その特徴は、高速かつ正確なチップエッチングのためのゴーツーアセットとしてそれを分離しました。自動化されたマルチチャンバーモデルは、最適なプロセス制御を保証し、高度な診断装置は最高レベルの精度と精度を保証し、正確なマイクロチップエッチングを必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。