中古 MATTSON Paradigm SI #9241940 を販売中

MATTSON Paradigm SIは、シリコン集積回路およびウェーハの量産用に特別に設計された大容量の精密エッチング装置です。この高性能で費用対効果の高いエッチング・プラットフォームは、一貫した品質と優れた再現性で、低コストで高いエッチングを行うことができます。特にエッチング工程への高電流源として大容量用途に適しています。Paradigm SIは、従来のウェットエッチング技術よりも多くの利点を提供します。1つのシステムで最大4つのエッチングタンクを収容でき、1回の実行で複数のエッチングステップを実行でき、時間とコストを節約できます。アッシャー/エッチャーは、エッチング深さおよび/またはエッチング速度のゾーン制御を備えた、正確で正確で再現可能なエッチングプロトコルを可能にするコンピュータ制御電源を備えています。また、多層処理機能を備えており、金属やポリシリコンを多層化した複雑なICやウェーハを製造することができます。また、窓を切断するためのカッターや、金属またはポリシリコンウェーハの前処理のための高出力ソースも備えています。MATTSON Paradigm SIには、排気ガスや排出ガスによる化学汚染の可能性を低減するケミカルフィルトレーションツールが装備されています。この高効率排気アセットは、ランオフとオフラインコストを削減することにより、環境への影響とコストを最小限に抑えるのにも役立ちます。マットまたはナプトンブラックチャンバーでの微細加工も可能で、優れた加工品質と制御が可能です。Paradigm SIには、ハイエンドの監視およびデータロギングシステムが装備されており、ユーザーはプロセスを追跡し、各プロセスのステータスを監視し、効率を向上させるための即時フィードバックを受け取ることができます。この最先端の高性能エッチングモデルは、信頼性と効率性を兼ね備えており、高度な電子部品の工業生産に最高のスループットと優れた結果をもたらします。さらに、MATTSON ParadigmはCAD/CAMソフトウェアと直接インタフェースし、正確で迅速な設計変更を可能にします。