中古 MATTSON Paradigm SI #9241278 を販売中

MATTSON Paradigm SIは、材料研究のための効率的で正確かつプロセス制御されたエッチングおよび/またはアッシングソリューションを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。革新的なクローズドループ制御システムを利用して、単層または多層材料で作られたウェーハを選択的にエッチングまたはアッシングする、高効率のロボットベースのバッチ処理装置です。Paradigm SIは、高度なマルチチャンバプロセス機能を備えており、ガスの流れ、温度、プラズマ電力などのプロセスパラメータの優れた時間的および空間的制御を提供します。メインチャンバーは、各ソースに独立した絶縁された電源を備えた統合されたRFトップローディングソースを備えています。各トップローダーモジュールには、集中したクローズドループ、コリメート抽出ユニットが含まれており、処理チャンバ内のウェーハ全体にプラズマを均等に分配します。このチャンバーには、簡単なウェハローディング/アンロードのための簡易リフト/カセットマシンも含まれています。トップローダーに加えて、MATTSON Paradigm SIは、正確なガス供給と迅速なウェーハ配置を可能にする負荷/アンロードリフト機構も備えています。このトップローディングツールは、処理中に必要に応じてチャンバ圧力を調整し、チャンバ汚染のリスクを最小限に抑え、ウェーハエッチング/アッシングプロセスの総制御を維持します。このチャンバーには動的熱制御も含まれており、ウェーハ温度をチャンバ内のすべての条件（過圧を含む）に正確に設定できます。これにより、一貫した効率的なエッチング/灰プロセスが保証され、高温への曝露管理に費やす時間を最小限に抑えます。Paradigm SIは、高度なマルチチャンバプロセス機能に加えて、単一または複数のウエハの処理を簡単に選択できるほか、マルチステップ処理などのエッチングおよびアッシング機能も提供します。また、プロセス温度およびRF環境に耐えるように特別に設計された、さまざまな消耗ウェハタイプを含む複数の大容量消耗品も提供しています。さらに制御のために、さまざまなウェーハ監視プロトコルを備えているため、ユーザーはウェーハの結果をリアルタイムで観察することができます。また、圧力、流量、電力、温度などのエッチングおよびアッシングプロセスの主要パラメータを自動的に監視および制御できます。この高度なプロセス監視機能により、MATTSON Paradigm SIは信頼性が高く効率的なモデルとなり、ユーザーは高品質のエッチング/アッシュ材料を迅速かつ効率的に作成できます。