中古 MATTSON Paradigm SI #9236729 を販売中

MATTSON Paradigm SIは、さまざまな産業および研究アプリケーションで使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチングとアッシングプロセスを微調整するさまざまなプロセス制御技術を提供しています。レーザービームを使用してエッチング/アッシング処理を指示し、プロセス制御を容易にするマイクロプロセッサベースのコントローラ、および温度、圧力、電流などのプロセス情報を追跡する高速サンプリング装置を使用します。この技術は、主にリード、ビア、トラック、およびメモリデバイスの精密パターニングのために半導体およびMEMS業界で使用されています。パラダイムSIは、金属、シリコン、プラスチックなど、さまざまなエッチングおよびアッシング材料をサポートします。このシステムには、マスキングや減速制御などの高度なオプションも多数用意されています。MATTSON Paradigm SIは、指向性エッチングやアニールなどの高度なエッチングとアッシング技術を採用しています。これらの技術は、忠実度の高いパターニングと、より一貫した信頼性の高いエッチング/アッシング結果を保証するように設計されています。方向エッチングとアニーリングは、特定の場所にレーザービームを集中させ、同時に基板を加熱することによって、基板にエッチング/アッシング材料をエッチングする量を制御することを含みます。これにより、一貫したエッチング深さと均一なエッチング特性が保証されます。また、3次元エッチングチャンバーを採用しています。このチャンバーは、通常のエッチング技術では実現できない長い複雑な形状の加工を可能にします。3Dエッチングチャンバーは、エッチングパターンの寸法均一性を維持するのに役立ち、寸法精度も追加されます。このマシンはまた、プログラムされたエッチングとアッシング機能を提供します。プログラミングモードでは、Paradigm SIはあらかじめ定義された一連の命令に基づいてエッチングと処理を行うことができます。これにより、コンポーネントの洗練された迅速なルーティングと、特定のパターンの正確なエッチングが可能になります。また、プログラマがプロセスを停止することなく、リアルタイムでエッチング処理を変更できる「バリエーション」機能も提供しています。全体として、MATTSON Paradigm SIは、高度なプロセス制御機能、精密エッチング/アッシング、および信頼性の高い一貫した資産を提供する強力なエッチングおよびアッシングツールです。これは、さまざまな業界や研究アプリケーションで使用することができ、微調整エッチングやアッシングのための信頼性と費用対効果の高い選択肢です。