中古 MATTSON Paradigm SI #9231982 を販売中

MATTSON Paradigm SIは、厚膜および薄膜回路処理に使用されるエッチャー/アッシャーです。この装置は、さまざまな種類のエッチングおよびアッシングプロセスを実行するための汎用性の高いプラットフォームを提供します。このシステムは「フローティング」プロセスチャンバーを備えており、真空源の必要性を排除し、クリーンで再現性のあるプロセス環境を実現します。2つの部分の設計は、回転する6チャンバーエッチングおよびアッシングステーションと、エッチング/アッシュチャンバーの真空環境から分離したプロセスステーションで構成されています。Paradigm SIの6つのエッチングおよびアッシングチャンバーは、カスタマイズ可能なRFおよびマイクロ波源で設計されており、ユーザーは1つのバッチで複数のプロセスを設定できます。チャンバーには、プロセスを最適化するためのデジタル電源制御と、エンドポイントモニタリング（EPM）を実行するためのプロセス制御も含まれます。MATTSON Paradigm SIの7つのプロセスステーションは、ユーザーに1回の実行で最大7つの金属層を堆積する能力を与えます。プロセスステーションは、スパッタ蒸着、電気蒸着、無電解蒸着のために構成されています。エッチングと灰に加えて、Paradigm SIは、精密なプロセス制御のための高度なソフトウェアパッケージを含む、さまざまなプロセス監視および制御機能を提供します。これにより、レシピをユニットに書き込むことができ、リアルタイムで結果を追跡することができます。これにより、ユーザーは制御パラメータを手動で調整することなく、プロセスを簡単に変更してプログラミングすることができます。MATTSON Paradigm SIは、3軸ノズルマウント、二軸ナイフエッジハンドラ、および調整可能なセラミックフローカップからなる高度なノズルアセンブリを使用して、反復可能なプロセスを実行することもできます。厚膜と薄膜の一貫した均一なエッチングと加工を可能にし、信頼性の高い高収率の回路処理を実現します。Paradigm SIの独自の組み込みクリーニングメカニズムは、各プロセスの実行中にプロセスチャンバー、ノズル、アクセサリを維持するのに役立ちます。この機械は、プロセスチャンバーの内外装とノズルアセンブリの両方に自動洗浄機能を提供します。これにより、高品質の回路処理のための効率的で一貫した環境を提供し、クロスコンタミネーションのリスクを最小限に抑えます。全体として、MATTSON Paradigm SIは、高度な機能と機能を備えた高度なエッチャー/アッシャーツールです。精密かつ反復可能なプロセスにより、ユーザーは一貫して信頼性の高い高品質の回路処理を実現できます。その汎用性と高度な監視機能は、最新の回路製造とプロセス制御のための貴重なツールにもなります。