中古 MATTSON Aspen #293818701 を販売中

ID: 293818701
ウェーハサイズ: 8"
Strip etcher, 8".
MATTSON Aspenは、薄膜における微細なパターンのエッチングまたはアッシングを提供する高度なエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、細かいライン、接触、厳しい許容範囲のアプリケーションで動作するように特別に設計されており、エンジニアリング、医療、マイクロエレクトロニクスのアプリケーションに最適です。アスペンは、薄膜エッチングおよびアッシング工程において精度と精度を提供します。エッチャー/アッシャーは、非常に均一で反復可能なエッチングまたはアッシングプロファイルをすぐに提供します。このデバイスは、加熱されたエッジフロースパイラル設計を使用して、サンプルを素早くエッチングまたは灰にして顧客の仕様を正確にします。エッチングプロファイルの形状とパターンの精度を制御するために、サンプルの直接加熱ガスの流れを微調整することができます。エッチャー/アッシャーは、最大の効率のためにジョブ間をすばやく変更することもできます。特別に設計されたクイックリリースカセットは、サンプルローディングとアンロードの最大効率を可能にします。さらに、エッチャー/アッシャーには自動プログラミング機能と高度なソフトウェアツールが搭載されており、ジョブのパフォーマンスを最適化します。MATTSON Aspenは、マニュアルエッチングまたはアッシングプロセスに代わる効率的で正確な代替品です。効率的なエッチング性能と高精度なパターン作成機能を兼ね備えたエッチャー/アッシャーは、幅広い用途に最適です。このデバイスは、さまざまな薄膜構成で正確なエッチングまたはアッシングを低コストで提供します。迅速な切り替え時間と高度なエッチングツールにより、アスペンは大量生産ラインに最適です。
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