中古 MATTSON Aspen #293774634 を販売中
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ID: 293774634
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
System, 8"
Process: PR Asher
MATTSON Standard dual arm robot
Back chamber: RISSHI EXH-1004 Chiller
Utility box: PCW Distribution
Chamber position:
Back chamber: ICP Asher
Side chamber: ICP Asher
Back and side chamber:
Process: PR Asher
Tube material: Quartz
ADVANCED ENERGYE RFPP 30S RF Generator
TRAZAR AMU-10D-3 RF Matcher
CMLB-11506 Pressure guage
MDV018 Throttle valve
ACX120103 Throttle valve controller
PARTLOW MIC 2000 Temperature controller
Gas box:
Gas-1: O2, 5000 SCCM
Gas-2: O2, 200 SCCM
Gas-3: CF4, 300 SCCM
Gas-4: H2/N2, 3000 SCCM
Transformer: 200 VAC - 100 VAC
1999 vintage.
MATTSON Aspenは半導体産業で使用されるエッチングおよび灰の装置の一流の製造業者です。MATTSONは1988年に設立され、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たす高度で信頼性の高い高性能エッチングおよびアッシング工具を製造することで高い評価を得ています。アスペンシリーズのエッチャーとアッシャーは、高度な半導体デバイスの製造に不可欠な精密で均一なエッチングとアッシングのプロセスを提供するように設計されています。これらの工具は、製造工程でウェーハ表面から材料を選択的に除去するために半導体製造設備で利用されています。MATTSON Aspenシリーズは、さまざまな加工ニーズや用途に合わせたエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。これらのツールは、シリコン、二酸化ケイ素、金属膜、誘電体など、さまざまな材料の加工における汎用性、精度、および効率で知られています。Aspenシリーズの主な特徴の1つは、高度なプロセス制御機能です。これらのツールには、エッチング速度、選択性、均一性、エンドポイント検出などの正確なプロセスパラメータを保証する高度な監視および制御システムが装備されています。これにより、半導体メーカーは、高いプロセス再現性と歩留まりを実現することができます。MATTSON Aspenエッチャーとアッシャーも、生産性と柔軟性に重点を置いて設計されています。これらのツールは、高いスループットと高速処理速度を実現するように設計されており、半導体メーカーは厳しい生産スケジュールに対応し、ウェーハ出力を最大限に引き出すことができます。さらに、このツールはモジュラー設計を提供し、変更されたプロセス要件に適応するための簡単なカスタマイズとアップグレードを可能にします。技術の面では、Aspenシリーズは精密で制御された材料の除去を達成するために高度なプラズマエッチングとアッシング技術を組み込んでいます。これらのツールは、誘導結合プラズマ（ICP）、容量結合プラズマ（CCP）、リアクティブイオンエッチング（RIE）など、さまざまなプラズマ源を使用して、高い選択性と均一性を持つエッチングおよび灰の材料を使用します。MATTSON Aspenツールはまた、プロセスの均一性を最適化し、エッチングと灰のパフォーマンスを向上させる革新的なチャンバー設計とガス供給システムを備えています。このツールには、RF電源、ガスフローコントローラ、温度制御システム、およびエンドポイント検出センサが装備されており、正確なプロセス制御と信頼性の高い結果を保証します。さらに、Aspenシリーズは、メンテナンス、トレーニング、アプリケーションサポートなどの包括的なサービスおよびサポートネットワークによってサポートされ、お客様がツールのパフォーマンスを最適化し、運用効率を最大化するのに役立ちます。経験豊富なエンジニアと技術専門家のMATTSONチームは、お客様と密接に協力して、特定のプロセスの課題に対処し、ツールの成功した実装を確実にします。全体として、MATTSON Aspenシリーズのエッチャーとアッシャーは、革新的で信頼性が高く、高性能なツールであり、半導体メーカーが高品質のデバイス製造を実現し、急速に進化する半導体産業の要求に応える上で重要な役割を果たします。アスペン工具は、高度なプロセス制御、生産性、技術革新に重点を置いており、半導体デバイス製造の卓越性を追求する半導体製造設備に適しています。
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