中古 MATTSON Aspen III #9095966 を販売中

MATTSON Aspen IIIエッチング/アッシング装置は、反応ガスの高温高圧混合物を使用して完全に精密なエッチングとアッシングを形成する高度な精度エッチング/アッシング装置です。Aspen IIIは、サンプルと一線を画し、超高温および圧力マイクロ環境を形成する3つの加熱および加圧リアクタントガスインジェクタを使用しています。高温と高圧が混ざり合って反応すると、化学物質はサンプルをエッチングする触媒反応を形成します。高度なプロセスモニタリングユニットにより、サンプルのエッチングとアッシングを正確に制御し、微調整することができます。内蔵ソフトウェアは、精度と品質を確保するために、プロセスの温度、圧力、およびその他の指標を監視します。このマシンには、サンプルの簡単なアライメントのための5軸移動プラットフォームと、正確なサンプルおよび基板位置アライメントのためのレーザー接続ポートが付属しています。高度な精度エッチングとアッシングとMATTSON Aspen IIIの正確な監視ツールの組み合わせにより、材料とプロセスの最適化が可能になります。その結果、廃棄物と歩留まりを最小限に抑えた高品質の管理プロセスが実現します。Aspen IIIは、ユーザーにエッチングとアッシングのプロセスを絶対的に制御します。このアセットは、微細で複雑なエッチング/アッシング処理に最適で、幅広い業界に適しています。