中古 MATTSON Aspen III Nexion #9286405 を販売中

MATTSON Aspen III Nexionは、信頼性の高いオールラウンドの効率的なエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いツールは、幅広いプロセス、材料、基板用に設計されており、さまざまなアプリケーションに最適です。コンパクトなデザインとシンプルでユーザーフレンドリーなコントロールにより、使いやすく、セットアップと操作が簡単です。Aspen III Nexionは、基板をエッチングして洗浄する電気化学プロセスを使用しています。これは、ユーザーがプログラムを選択し、必要に応じてプロセス調整を行うための設定を簡単に変更することができますグラフィカルユーザーインターフェイスを持っています。パラメータコントロールモニターはユーザーにフィードバックを提供し、エッチング処理を正確に制御できます。このエッチャーは、プロセスと基材に応じて、光と深いエッチング、および厚膜除去の両方を実行できます。このユニットは、150〜2000ワットの広い出力電力を持つ可変RFジェネレータを備えています。高温材料や誘電体層での使用が可能な高温性能を有しています。6インチ×12インチまでの基板に対応でき、ほとんどのアプリケーションに適しています。asherの壁は敵対的な環境で優秀な耐久性を提供するステンレス鋼材料からなされます。MATTSON Aspen III Nexionは最高のプロセス性能および効率を提供するように設計されています。このシステムには、パーティクル検出器と高速センサーが内蔵されており、ユーザーはエッチング工程全体をより正確に監視することができます。高真空チャンバーにより、プロセスガスがエッチング環境から逃れることができないため、安全性が向上し、汚染物質の放出が防止されます。Aspen III Nexionは、さまざまなアプリケーションに最適です。それは信頼でき、使いやすく、精密で、一貫した結果を提供します。その高温機能、可変RFジェネレータ、および粒子検出器は、材料、基板、およびプロセスの範囲に適しています。これらの理由から、信頼性と効率的なエッチングのためのトップチョイスです。