中古 MATTSON Aspen III Lite #9390391 を販売中

MATTSON Aspen III Liteは、統合された半導体ウェーハデバイス処理用のオールインワン単一の波形エッチャー/アッシャーです。これは、研究開発（R&D）半導体デバイスの製造と研究のニーズを満たすように設計された、コンパクトで費用対効果の高いソリューションです。その単波形技術の精度は、小さなフットプリントで精密なエッチングおよびアッシング機能を生成することができ、優れた解像度と精度を提供します。Aspen III Liteは、50nmの最小線幅を正確な深度制御で生成することができる安定した均一な紫外線光源で構築されています。クロム、ポリシリコン、窒化物など多種多様なマスクタイプをサポートすることができます。装置は精密なプロセスデータ収集および監視のためのサブミクロン、水晶ベースの、非接触、反射のないモニターが装備されています。後で分析するために機械に保存されるだけでなく、データをリアルタイムで正確に抽出することができます。MATTSON Aspen III Liteには、ドリフトを低減し、熱処理の全範囲にわたって精度を維持する電気機械部品が装備されています。これには、高温エキシマランプ電源、クローズドループ温度制御システム、キャパシタンスドライブエッチングユニットが含まれます。プロセスチャンバーへのアルミ搬送が可能で、ウエハサイズは3インチから8インチまで対応しています。Aspen III Liteは、VLE（真空レベルのエッチング）、iSLE（局所エッチング）、Wet Ash、 PECVD（プラズマ強化化学蒸着）、ECR（電子サイクロトロン共鳴）など、複数のエッチング/アッシング処理をサポートします。カスタム設計されたチャンバーに統合された大面積ウェーハ処理能力を備えています。最大5つのプロセスを同時にサポートでき、最大5つのレシピレシピをメモリに保存できます。故障が発生した場合は、アラームとインターロックを使用して操作をシャットダウンすることで、プロセスのすべての段階で安全が保証されます。さらに、MATTSON Aspen III Liteは、VMEバスとドライバ制御の間の信号ラインのガルバニック絶縁トランスとの外部干渉から保護されています。これにより、オンボードの通信および制御システムはそのままになり、理想的な状態で動作します。機械は直感的なオペレータインターフェイスで簡単に操作でき、設置、アプリケーション、メンテナンスのための包括的なサポートサービスを提供します。MATTSONはまた、データロギングとウェーハのトレーサビリティのためのソフトウェアツールを提供しており、ユーザーはエッチング/アッシングプロセスを完全に制御することができます。