中古 MATTSON Aspen II #9401067 を販売中

MATTSON Aspen IIは、半導体業界の幅広い用途に使用するために設計された最先端の電気化学エッチング/アッシング装置です。エッチング・アッシング工程を精密に制御する高度なエレクトロニクスを搭載し、幅広い基板上に平坦で厚い層を形成します。高度なノズルレスバスユニットを搭載し、除去プロセスを正確かつ正確に制御し、予測可能で再現性のある結果を得ることができます。さらに、統合されたセルフクリーニングマシンは、汚染の蓄積を自動的に排除することにより、ツールの動作をピーク時に維持します。この資産は、革新的なノズルレスソリューションから高速エッチング機能まで、信頼性と効率性が高いように設計されています。アスペンIIは、最大温度475°Fで1時間あたり最大50枚のウェーハを処理することができ、シリコン、アルミニウム、タングステン、チタン酸などのさまざまな材料に使用できます。統合されたソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーは設定を最適化し、モデル設定を調整して効率的な操作を行うことができます。さらに、高効率の真空ポンプとガスフローセンサーにより、溶媒排出量を制限する環境に優しいソリューションを提供します。これは、エッチングおよびアッシングプロセスが環境および安全規制に準拠していることを保証するのに役立ちます。MATTSON Aspen IIの革新的な設計により、メンテナンスも容易になり、すべての内部コンポーネントに簡単にアクセスできます。さらに、装置のコントローラは、エッチング工程をソースから基板まで管理し、正確かつ再現性のある蒸着および除去率を提供します。さらに、精密ガス供給システムは、最適化されたエッチングおよびアッシングプロセスのための正確で均一なガスの流れを保証し、プロセスの変動を減らし、より良い結果をもたらすのに役立ちます。Aspen IIは強力で信頼性の高い電気化学エッチャー/アッシャーユニットです。エッチングおよびアッシング工程に精密かつ再現性のある制御を提供し、広範囲の基板上に平坦で厚い層を形成します。さらに、機械の洗練されたエレクトロニクスは、信頼性と効率的なパフォーマンスを保証し、統合された自動クリーニングツールとガスフローセンサーは、環境および安全規制への準拠を保証します。さらに、革新的な設計により、メンテナンスと正確なガス供給が容易になり、プロセスのバリエーションを最小限に抑えて優れた結果をもたらします。