中古 MATTSON Aspen II #9398659 を販売中
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ID: 9398659
ウェーハサイズ: 8"
ICP System, 8"
MATTSON Endpoint detection system
With fixed filters: 430 and 520
Cable length: 19 ft
(3) RF Cables and signal cables
(2) Heaters
MFC
Chambers:
Back chamber:
366 MHz CPU: Analog in and PCB out
Floppy Disk Drive (FDD): DI/DO Cards
Chassis: Power supply
Gas channel: Bottom feed channel
Cool down station: No water cooling
Gas lines
Right chamber:
366 MHz CPU: SEC II Card
Floppy Disk Drive (FDD): Robot stepper (SMC-PC3)
Chassis: Backing plain
Gas channel: Junction box
Cool down station: Lexan plates
Gas lines with filters
Front end:
26" Opening with separate operator interface
4-Color light tower
Operator / Engineering monitor: TFT Design monitor
Gas box with sub frames
EMO Buttons
Interlock circuit: Push button switches
Hanging panels
Load lock:
Single load lock
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Pin search assembly: Proximity sensors
Load lock seal: Lip seal
Platform and cassette:
(4) 25-Slot cassettes
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station: Flat cool down station without water lines
Load lock fast exchange
Transfer robot:
Main robot: 3-Axis robot with flex cable
Robot arm: (4) Adjustable paddles with standard arm
Slit door
Wafer sensors: Paddles, front and rear cassettes
Shuttle: 26"
Process module:
Chamber right and back:
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-ring type: Flurosilicon
Temperature controller: WATLOW 988 / EZ Zone
Thermal couples: Spring loaded TC
Lift pin assembly
Grids / Guide rings: Extended guide ring
Electrical feed through
Manifold and ceramic parts
Isolation valve
Top plate
Load lock
Chamber
Pressure controller:
VAT Valve pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF / MW System:
RF System: Top RF 13.56 MHz
(3) RFPP10 RF Generators: (2) Power cables missing
TRAZER AMU 10D-2 RF Top match, P/N: 914-92003-00: (2) Vacuum capacitors missing
Re-silvered RF coils
(125) RF Vacuum caps: 100PF
AC Box: 2-3 Phase generators with safety cover
DC Box
Gas system:
Gas VCR gasket: Stainless steel and Nickel
Gas line / Gas / Range
Gas 1 / O2 / 1000 SCCM
Gas 2 / N2 / 1000 SCCM
Gas 3 / N2/H2 (4%) / 2000 SCCM
Gas 4 / CF4 / 100 SCCM
Side:
Gas 1 / O2 / 5 SLM
Gas 2 / N2 / 1 SLM
Gas 3 / CF4 / 200 SCCM
Gas 4 / O2 / 1 SLM
Rear:
Gas 1 / O2 / 10 SLM
Gas 2 / N2 / 1 SLM
Gas 3 / CF4 / 200 SCCM
Gas 4 / O2 / 1 SLM.
MATTSON Aspen IIは、高いスループットと低コストで精密エッチングを提供する先進的なエッチング装置です。高い柔軟性とエッチングパラメータの制御性を提供しながら、生産性を向上させるように設計されています。Aspen IIは、様々な材料のエッチングを必要とする多くの種類のアプリケーションや研究プロジェクトで使用されています。シリコン、石英、モリブデン、ステンレスなど多くの基板エッチングに適しています。このシステムは、コーナー、エッジ、ステップなどの大小の基板を簡単にエッチングするための調整可能なステージを備えています。大型エッチングチャンバーにより、複数のウエハを一度にエッチングすることができ、生産を高速化できます。MATTSON Aspen IIは、最高速度11mm/秒の超精密ロボットX、 Y、 Zドライブを備えています。また、高速ビジョンベースのアライメントとオートフォーカスも備えています。また、エッチング工程を安定させるために基板を最適に冷却するチラーも備えています。エッチング速度は非常に安定しており、高性能な結果を繰り返すことができる柔軟なエッチング条件を提供します。真空ポンプを搭載し、チャンバー圧力5mTorrの低真空環境を実現しています。このツールには、プリチャンバー脱ガス資産も内蔵されており、プリスティンエッチング条件を可能にします。アスペンIIは、縦軸に沿ったエッチング率が横軸に沿ったエッチング率よりも高い異方性エッチングも可能です。MATTSON Aspen IIは、酸素、塩素、六フッ化硫黄、フッ素ラジカルなどのエッチング化学製品を幅広く取り揃えています。再現可能な結果を得るために、このモデルは電力、温度、イオン源などの主要パラメータをリモコンで制御する機能も備えています。さらに、装置は既存の半導体プロセスに容易に統合することができます。アスペンIIは、高性能、高スループットエッチングに最適です。堅牢な構造と精密な機能により、さまざまなエッチング用途に最適です。
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