中古 MATTSON Aspen II #9398659 を販売中

ID: 9398659
ウェーハサイズ: 8"
ICP System, 8" MATTSON Endpoint detection system With fixed filters: 430 and 520 Cable length: 19 ft (3) RF Cables and signal cables (2) Heaters MFC Chambers: Back chamber: 366 MHz CPU: Analog in and PCB out Floppy Disk Drive (FDD): DI/DO Cards Chassis: Power supply Gas channel: Bottom feed channel Cool down station: No water cooling Gas lines Right chamber: 366 MHz CPU: SEC II Card Floppy Disk Drive (FDD): Robot stepper (SMC-PC3) Chassis: Backing plain Gas channel: Junction box Cool down station: Lexan plates Gas lines with filters Front end: 26" Opening with separate operator interface 4-Color light tower Operator / Engineering monitor: TFT Design monitor Gas box with sub frames EMO Buttons Interlock circuit: Push button switches Hanging panels Load lock: Single load lock (2) Cassette stations Capability of queuing lots Pin search assembly: Proximity sensors Load lock seal: Lip seal Platform and cassette: (4) 25-Slot cassettes Rotating cassette nests, 8" Cool down station: Flat cool down station without water lines Load lock fast exchange Transfer robot: Main robot: 3-Axis robot with flex cable Robot arm: (4) Adjustable paddles with standard arm Slit door Wafer sensors: Paddles, front and rear cassettes Shuttle: 26" Process module: Chamber right and back: Tube type: Quartz tube Standard process window ICP Chamber O-ring type: Flurosilicon Temperature controller: WATLOW 988 / EZ Zone Thermal couples: Spring loaded TC Lift pin assembly Grids / Guide rings: Extended guide ring Electrical feed through Manifold and ceramic parts Isolation valve Top plate Load lock Chamber Pressure controller: VAT Valve pressure controller Chamber manometer: 10 Torr Load lock manometer: 100 Torr Shuttle manometer: 1000 Torr RF / MW System: RF System: Top RF 13.56 MHz (3) RFPP10 RF Generators: (2) Power cables missing TRAZER AMU 10D-2 RF Top match, P/N: 914-92003-00: (2) Vacuum capacitors missing Re-silvered RF coils (125) RF Vacuum caps: 100PF AC Box: 2-3 Phase generators with safety cover DC Box Gas system: Gas VCR gasket: Stainless steel and Nickel Gas line / Gas / Range Gas 1 / O2 / 1000 SCCM Gas 2 / N2 / 1000 SCCM Gas 3 / N2/H2 (4%) / 2000 SCCM Gas 4 / CF4 / 100 SCCM Side: Gas 1 / O2 / 5 SLM Gas 2 / N2 / 1 SLM Gas 3 / CF4 / 200 SCCM Gas 4 / O2 / 1 SLM Rear: Gas 1 / O2 / 10 SLM Gas 2 / N2 / 1 SLM Gas 3 / CF4 / 200 SCCM Gas 4 / O2 / 1 SLM.
MATTSON Aspen IIは、高いスループットと低コストで精密エッチングを提供する先進的なエッチング装置です。高い柔軟性とエッチングパラメータの制御性を提供しながら、生産性を向上させるように設計されています。Aspen IIは、様々な材料のエッチングを必要とする多くの種類のアプリケーションや研究プロジェクトで使用されています。シリコン、石英、モリブデン、ステンレスなど多くの基板エッチングに適しています。このシステムは、コーナー、エッジ、ステップなどの大小の基板を簡単にエッチングするための調整可能なステージを備えています。大型エッチングチャンバーにより、複数のウエハを一度にエッチングすることができ、生産を高速化できます。MATTSON Aspen IIは、最高速度11mm/秒の超精密ロボットX、 Y、 Zドライブを備えています。また、高速ビジョンベースのアライメントとオートフォーカスも備えています。また、エッチング工程を安定させるために基板を最適に冷却するチラーも備えています。エッチング速度は非常に安定しており、高性能な結果を繰り返すことができる柔軟なエッチング条件を提供します。真空ポンプを搭載し、チャンバー圧力5mTorrの低真空環境を実現しています。このツールには、プリチャンバー脱ガス資産も内蔵されており、プリスティンエッチング条件を可能にします。アスペンIIは、縦軸に沿ったエッチング率が横軸に沿ったエッチング率よりも高い異方性エッチングも可能です。MATTSON Aspen IIは、酸素、塩素、六フッ化硫黄、フッ素ラジカルなどのエッチング化学製品を幅広く取り揃えています。再現可能な結果を得るために、このモデルは電力、温度、イオン源などの主要パラメータをリモコンで制御する機能も備えています。さらに、装置は既存の半導体プロセスに容易に統合することができます。アスペンIIは、高性能、高スループットエッチングに最適です。堅牢な構造と精密な機能により、さまざまなエッチング用途に最適です。
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