中古 MATTSON Aspen II #9353913 を販売中

MATTSON Aspen II
ID: 9353913
ウェーハサイズ: 8"
Triode system, 8".
MATTSON Aspen IIは、幅広い用途に使用するための高精度スキャナ、エッチャー、およびアッシャーです。幅広い構成オプションがあり、材料と時間を最小限に抑えて高品質な結果を出すことができます。Aspen IIは、ガラス、セラミック、ステンレス、銅、アルミニウムなどの幅広い基板のエッチング、ウェット加工、アッシング作業に使用できます。統合されたX-Yスキャンヘッドにより、厚さとサイズが異なる製品でエッチングとアッシングプロセスを迅速に実行できます。MATTSON Aspen IIは、高解像度で広い視野を持ち、スケーラビリティと画像形成の柔軟性を提供します。統合されたピエゾ位置決め、大規模なドライブ機能、コンピュータ化されたステッププロセス、およびより高い精度などの機能は、優れた性能と精度を提供します。Aspen IIは、カスタマイズ可能な機能を備えた、連続的で高速なエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。MATTSON Aspen IIは、タッチスクリーンインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーなマシンで、カスタマイズ可能で効率的な動作環境を提供します。Aspen IIは、精密プロセスチャンバー、自動ウェーハチャック、ウェーハクランプ装置、高度なモータ制御、完全自動測定システムを内蔵しています。その統合されたプロセスチャンバーは、幅広い基板や材料のエッチングとアッシングが可能です。圧力および温度の監視、ガスラインの分離、連続的な流れシステムおよび酸素のパージの単位のような高度の特徴が装備されているこの部屋。MATTSON Aspen IIも高速スキャンヘッドを備えており、迅速かつ正確なプロセスステップを可能にします。レスポンシブなX-Yスキャンヘッドと調整可能なステップサイズにより、大小のエッチングおよびアッシング作業に適しています。Aspen IIには、フォーカス調整可能な4軸スキャンヘッド、オートフォーカス機の統合、自動データキャプチャも組み込まれています。MATTSON Aspen IIは、高度なプロセスモニタリングとユーザーフレンドリーなプログラミングによる制御システムを備え、高精度で大量の生産に適しています。統合されたソフトウェアにより、ワークロードとプロセスパラメータの自動調整が可能になり、正確性と汎用性が保証されます。その低消費電力と長期的な耐久性により、多くの困難な産業および研究用途に理想的なエッチングおよびアッシング装置となります。
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