中古 MATTSON Aspen II #9246107 を販売中
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販売された
ID: 9246107
ウェーハサイズ: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen IIは、精密エッチング/アッシング機能を提供するために設計された多機能エッチャー/アッシャーシステムです。Aspen IIは、さまざまな精密エッチング/アッシングプロセスに理想的なソリューションとなる一連の高度な機能を提供します。MATTSON Aspen IIの主な特徴は、耐久性と一貫したパフォーマンスを提供するように設計された堅牢なビルド、0。1 umまでの単色解像度、フルカラーのタッチスクリーンインターフェイスによるプロセス制御、およびプロセス構成とレシピを格納するためのさまざまなオンボードメモリオプションです。これにより、信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなエッチャー/アッシャーが得られます。Aspen IIは使いやすさのために設計されており、正確で反復可能な性能を確保するためにいくつかの機能が装備されています。高感度のZ軸高度接触により、エッチング部品の先端が基板に均等かつ正確に接触します。これにより、高い信頼性と一貫して再現性のある優れたエッチング品質が得られます。また、エッチング面の高さの変化を検知できる「サーフェストラッキング」技術を搭載しており、MATTSON Aspen IIはエッチングやアッシングの深さを自動調整することができます。これにより、毎回一貫した結果が得られます。Aspen IIは、金属部品にエッチングする際に精密かつ反復可能な結果を保証するために、さまざまな部品を装備しています。これらには、統合された9位置自動インデックス作成ツールチェンジャー、基板の自動アライメント、選択的陽極酸化のための陽極酸化レシピ、基板エッジ検出用の複数接触ストッパー、およびプロセス制御用の画面上のパラメータが含まれます。これらのすべての機能は、使用される金属に関係なく、毎回均一で正確な仕上がりを保証します。MATTSON Aspen IIは自動化されたプロセスへの容易な統合のために設計されています。DCソース5000V/4000W非常に安定した低メンテナンスにより、再現性と信頼性の高いパフォーマンスを保証し、ほぼすべての自動プロセスに統合できます。さらに、プロセスコントロールと監視をより効率的で正確かつ再現性のあるものにするために設計された、さまざまな独自のソフトウェアとファームウェアを備えています。Aspen IIは、信頼性が高く、再現性が高く、使いやすいエッチャー/アッシャーソリューションを求める人にとって理想的なソリューションです。その高度な機能と高い信頼性と一貫したパフォーマンスにより、さまざまな精密エッチング/アッシング用途に最適なソリューションです。MATTSON Aspen IIのソフトウェアおよびハードウェアベースの機能の範囲は、毎回一貫して優れたエッチング結果を保証し、その堅牢なビルドと自動化されたプロセス制御機能により、信頼性の高い結果とシンプルな操作を求める産業ユーザーにとって理想的なソリューションです。
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