中古 MATTSON Aspen II #9230723 を販売中
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ID: 9230723
ウェーハサイズ: 8"
ICP System, 8"
Wafer type: Silicon
Chamber type:
Rear chamber: ICP Chamber
Cool chamber
Mainframe options:
Cassette nest: SMIF Cassette nest
Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF
Paddle selection: Adjustable paddle
Panel / Skin color: White
Sub-frame: Tall frame
Light tower: Pole mount, (4) colors
Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon
Paddle O-rings: KALREZ
Slotted groove slit door type without regulators
Loadlock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
Hinged cooldown chamber
Cooling chamber skin
Remote operator interface panel
Rapid cassette exchange
System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO
No wafer mapping
No secondary interface PCB
SMIF Option
PCB Part: V VERSA COM +4
No robot safety enclosure
SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4
Gas panel type:
Top of short frame
Cabinet with door
Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator
Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork
Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard
Shrouded locking EMO type
EMO Button guard ring
Panel interlock options: Mechanical interlock switch
Chamber configurations:
Temperature control: Watlow temperature control panel standard
ACX 1201 Pressure control with ext PS
No MATTSON endpoint system
MFC Type: MFC on Core
MFC Cal gas: N2
Gas delivery options:
Gas 1 / 10000 / O2
Gas 2 / 200 / CF4
Gas 3 / 5000 / N2
RF Components:
RF Match: TRAZAR AMU10-D2
(2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators
Generator type: ENI OEM12B
Power supply: 208 V, Single phase
Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens
MFC With core chamber
Installed:
Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline
HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter
Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00
Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00
Pneumatic manifold (4) stations:
2-4 Ports (Middle)
3-8 Ports (Lower)
Regulators, 0-150 PSI
With gauge for slit doors & lift pins up / Down
Power supply:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors
AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase
CE Marked.
MATTSON Aspen IIは、高度なプロセス統合のために特別に設計されたエッチングおよびアッシングプロセスツールです。プロセスの柔軟性と高いスループットを備えているため、研究、開発、デバイス製造アプリケーションに最適です。Aspen IIは、焼入れ、蒸発、エッチングモジュールなど、アライメントに簡単に統合された多くのユニークなプロセスモジュールを備えています。焼入れモジュールは高周波パルスによって制御され、プロセスパラメータを精密に制御できます。蒸発モジュールは材料の蒸発の沈殿のための高い率、エネルギー効率が良い、RFの暖房源を使用します。エッチモジュールには、直流エッチングおよびアッシング用の無料のオプションのDCローディング装置、高速プリエッチングプログラム、および穏やかな後処理を備えています。MATTSON Aspen IIは、幅広い構成と温度範囲で設計されています。そのガスソース注入System™は、さまざまな校正された均一なプロセスを通じてガスを供給することができます。統合されたマルチイオン真空ユニットは、さまざまな工程でクリーンで低圧の環境を作り出します。すべてのチャンバにアクセス可能で互換性があり、プロセスの柔軟性と高いスループットを確保します。Aspen IIの直感的なコントロールパネルは、プロセス全体の優れた制御を確実にするように設計されており、簡単なデータ収集とレポート作成が可能です。MATTSONソフトウェアパッケージはまた、さまざまなプロセスのためのカスタマイズされたデータとレシピ管理を提供します。高度なタッチスクリーンインターフェイスにより、簡単なマシンナビゲーションが可能で、初心者でもアクセス可能です。MATTSON Aspen IIは、統合された高度なプロセス統合に最適なソリューションです。高いスループット、プロセスの柔軟性、簡単なデータとレシピ管理、簡単なアクセス、幅広い構成を誇り、生産または研究アプリケーションに最適なツールです。
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