中古 MATTSON Aspen II #9155758 を販売中

MATTSON Aspen IIは、基板加工から最終パターン形成まで、さまざまなプロセスで使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。5つのプラテン非遠隔装置で直径300mmまでのウェーハのエッチングとアッシングが可能です。このシステムは、完全に自動化されたバッチカセットローダーとアライナーを備えており、手動のローディングとアライメントの必要性を排除します。さらに利便性を高めるために、業界標準のロボットローダーに接続することができます。Aspen II独自の設計により、プロセスのバリエーションと優れた製品の均一性を最小限に抑え、高スループットを実現します。デュアルゾーンプロセスチャンバーは、プロセスパラメータを独立して制御し、より高いプロセスレートを実現します。また、ウェーハ温度調整ツールを搭載し、基板温度の変動による欠陥を最小限に抑えることができます。MATTSON Aspen IIは、高速プロセスに加えて、精密なプラズマエッチングと高品質のパターニングも提供します。アセットはエッチングとアッシングの両方のアプリケーションに最適化されており、高度なレシピを使用して高品質のエッチングとアッシングプロセスを保証します。これは、最小サイズの機能のためのオプションの可変サイズの開口部と、正確なパターン作成のための高解像度メッシュによってさらに助けられます。このモデルはまた、潜在的な危険からオペレータを保護するためのいくつかの安全機能を備えています。これには、開いたカセットまたは損傷したカセットを検出する赤外線センサーと、ロードロックおよび手動ローディングシステム用の自動無効メカニズムが含まれます。Aspen IIは、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスのための堅牢な性能、正確な制御、および正確なパターニングを提供する汎用性の高いデバイスです。シンプルでユーザーフレンドリーな設計により、簡単なセットアップと操作が可能で、研究、開発、生産に最適です。