中古 MATTSON Aspen II #293775108 を販売中

MATTSON Aspen IIは、シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ケイ素、GaAsPなどの金属および材料のエッチング用に設計された精密ウェットエッチング装置です。特許取得済みの反応性ガスキャビネットチャンバーを使用して、最適なエッチング処理を提供します。このシステムは、広範囲の寸法にわたって均一で精度の高い円形、正方形、長方形の特徴を生成します。Aspen IIはコンパクトなエッチングユニットで、最大16基の原子炉を2つのサイズで使用できます。幅広い機能を備えた2台の電動ロボット、高度なエッチガスデリバリーマシン、流体の流れと圧力を正確に制御するためのデュアルトランスデューサが含まれています。0〜115PSIの高い作動圧力範囲を持ち、6ミクロンまでの厚さのエッチングに適しています。また、エッチング時の精度を確保するための高感度光学監視ツールも含まれています。MATTSON Aspen IIは、NH4OH濃度の低い高精度エッチングを提供し、非標的材料のエッチングを低減するように設計されています。幅広い材料で最高のエッチング均一性と精度を得るための高度なアルゴリズムを備えています。さらに、コンパクトな設計と複数の構成により、最大16個のウェーハを同時にエッチングできます。また、低粒子放射率、-20〜+50Cの温度範囲、および正確なインラインモニタリングを保証する自動プロセステストモデルを備えています。Aspen IIはマイクロマシニングおよび類似の適用のための研究そして生産の使用のための理想的な装置です。堅牢な設計、革新的な制御アルゴリズム、さまざまな構成により、あらゆる材料の精密エッチングに適したシステムです。その汎用性、精度、信頼性は、プロセスをエッチングするための貴重なツールになります。