中古 MATTSON Aspen II #293775105 を販売中

MATTSON Aspen IIは、半導体デバイスおよび集積回路の製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。装置は高度に構成可能であり、エッチング、アッシング、およびその他の関連プロセスをサポートすることができます。システムのコアは4軸モーションコントロールユニットで構成されており、作業エリア全体にわたってウェーハを正確に移動させるためのモーションプラットフォームを備えた高速ステージを備えています。さらに、精密にキャリブレーションされたリニアエンコーダ-リゾルバマシンがモーションプラットフォームの上に配置され、ウェーハ表面の詳細なビューを提供して正確なパターンを確保します。Aspen IIは、加工用の最先端のエッチングとアッシングチャンバーを備えています。これは、目的のエッチングまたはアッシングガスのターゲット、正確な配信のためのガス配信ツールを利用しています。また、高精度のウェーハ位置決めアセットを備えており、正確なアライメントを保証します。また、優れた精度と安定性を備えた高品質のビームスキャナと、ウェーハ位置を決定するためのマルチチャネル静電容量センサを内蔵しています。MATTSON Aspen IIは、直感的で使いやすいように設計された堅牢なユーザーインターフェイスを備えています。経験豊富で初心者のユーザーは、使いやすさと包括的な制御オプションを高く評価します。豊富な制御インターフェイスはプロセスの間に温度、時間、ガスの流れ、圧力、等のような変数を、容易に調節するために処理する調節を可能にします。Aspen IIは、モデルのライブラリに保存され、すばやくアクセスできるさまざまなエッチングとアッシングのレシピで使用できます。これにより、レシピの選択、読み込み、変更、レシピノート、パラメータ、ログへのアクセスが簡単に行えます。要するに、MATTSON Aspen IIは精密で反復可能な処理を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。洗練されたモーションコントロール、高品質のエッチングおよびアッシングチャンバー、および詳細な制御機能を組み合わせることで、集積回路や半導体デバイスの製造に最適です。