中古 MATTSON Aspen II #293619551 を販売中

MATTSON Aspen II etcher/asherは銅、アルミニウム、および他の金属のエッチングおよびashingプロセスのために使用される最先端の装置です。半導体パッケージング、PCB、 MEMSなど、多くの産業に利益をもたらすように設計されています。直径8インチまでのウェーハに対応可能で、最大エッチング/アッシュチャンバーサイズは26インチx 13。5インチx 10インチです。Aspen IIにはデジタル真空システムが搭載されており、圧力と温度をピンポイントで制御できます。このデジタル圧力管理により、幅広いケミストリーで最適なプロセス雰囲気を維持することができます。デジタル真空機はまた、各レシピの均一なプロセスを保証します。MATTSON Aspen IIにはプログラマブルなエンドポイント機能が搭載されており、各レシピにあらかじめ定義された動作パラメータを設定できるため、毎回正確なエッチング/アッシュサイクルを実行できます。これにより、オペレータ、バッチサイズ、プロセス条件に関係なく、繰り返し可能な結果が保証されます。Aspen IIのプロセスチャンバーは、穴あき壁を備えており、プロセスガスとエッチング化学物質の均一な分布を提供します。この穴があいた壁の設計はまたエッチャー/asherのクリーニング機能を高め、プロセス周期間にきれいな部屋をもたらします。MATTSON Aspen IIはマルチゾーンRFジェネレータを備えているため、再現可能なプロセス調理時間と十分な電力を組み合わせて特定のアプリケーションを満たすことができます。Aspen IIは、高度な自己パージサイクルも備えており、プロセス後の迅速なリカバリと繰り返し可能なエッチング/灰のパフォーマンスを可能にします。エッチング/アッシュプロセス機能に加えて、MATTSON Aspen IIは、電気化学めっき、腐食防止、コーティングなど、幅広いポストプロセス操作が可能です。Aspen IIエッチャー/アッシャーは、プロセス制御と再現性を強化し、堅牢で信頼性の高い処理プラットフォームを提供します。また、幅広いポストプロセスオプションを提供し、単一のツールでエンドツーエンドまたはスタンドアロン処理を可能にします。