中古 MATTSON 165-91000-00 #293671335 を販売中

MATTSON 165-91000-00は、フォトリソグラフィ用の高度なエッチングまたはアッシャー装置です。これは、再現可能な結果のためのプロセス条件を最適化するための調整可能なガス流量システムを持っています。エッチャーは、地形を減らすために浮遊仕上げプレートを備えた水平リングチャックを使用しています。ガス分配ユニットには、エッチングプロファイルの高い再現性とエッジプロファイルの均一性のために、方向性ガスの流れを提供するために調整可能なオリフィスを備えたバルブシリカラインが装備されています。また、高品質の水晶基板加熱拡散炉、再現可能な温度プロファイルのための正確な温度制御、および基板のための低い熱衝撃を備えています。キャパシタンスエンドポイントセンシングツールは、手動および自動操作オプションの両方を備えたアセットに統合されています。このモデルは、ジョブコントローラやMESシステムなどの他のプロセス制御システムとも連携して、プロセス制御と監視を最大化することができます。プロセス能力の面では、165-91000-00は、シリコン、石英、セラミック、アルミニウム、ガラスなど、ほぼすべての基板の精密エッチングを提供するように設計されています。さらに、この装置は、金、銅、クロム、パラジウムなどの金属を高解像度のアプリケーション用に堆積してエッチングすることができます。このシステムは幅広いプロセス範囲を持ち、3 μ mから18 μ mまでの深さをエッチングすることができます。また、さまざまなアプリケーションに最適なエッチング結果を得るためのエッチングレートのチューニングを可能にする幅広いプロセスウィンドウを備えています。MATTSON 165-91000-00は、SPCチャートなどの優れたプロセス再現性と統計プロセス制御ツールも提供します。また、レシピ、プロセスパラメータのリアルタイムライブモニタリング、プロセストレンド分析、統計プロセス制御、プロセスデータストレージを備えたオンボードプロセスソフトウェアパッケージを備えています。単位はテフロンおよびステンレス鋼のそれを非常に耐久および腐食に対して抵抗力があるように組み立てられます。ガラスとシリカの接続はすべてリークがしっかりしており、機械にはセルフクリーニングガスラインがあります。さらに、このツールには高度な安全機能、ベンチュリのローディングと4インチウェハハンドリングが付属しています。全体として、165-91000-00は、高解像度の実質的にあらゆる基板の精密なエッチングを提供する高度なエッチング/アッシャー資産です。高度な安全機能と4インチウェーハハンドリングを備えた優れたプロセス再現性と統計的プロセス制御ツールを提供します。このモデルはテフロンとステンレス鋼で構成されており、耐久性と耐腐食性に優れています。ガス配分装置は方向性のガスの流れを提供し、反復可能なエッチングのプロフィールおよび端のプロフィールの均等性を保障します。