中古 MATRIX System One 106E #9119151 を販売中

MATRIX Equipment One 106Eは、あらゆる形状とサイズのエッチング、開発、およびアッシャーウエハと基板の能力をユーザーに提供するように設計されたエッチャー/アッシャーシステムです。この堅牢なユニットは、比類のない精度と精度を提供します。機械には自動モードと手動モードの両方があり、ユーザーはエッチングと開発プロセスをカスタマイズして最適な結果を得ることができます。Tool One 106Eは半導体、誘電体、および先端材料のエッチングのための理想的な解決です。アセットはウェットエッチング用に設計されています。ユーザーが独自のソリューションをミックスし、流量と温度を調整できるカスタマイズ可能な化学供給モデルが付属しています。装置は一度に最大6つの化学物質を扱うことができ、ユーザーは自分が作業している基板に自分のプロセスを調整することができます。MATRIX System Oneには、マルチポジション調整可能なウェーハキャリアも搭載しています。このユニットは、ウェーハサイズとプロセスに応じて、1パネル/ツリー3。4時間から4ツリー/時間までの速度でエッチングできます。独自の2相プロセスタイマーを搭載し、エッチング時間を正確に設定できます。MATRIX Machine One 106Eは、エッチングプロセス全体で正確な温度を確保するために、ペルチェ熱電冷却ツールで設計されています。このアセットには高度なウェハマッピングプログラムがあり、ユーザーはウェハの品質や温度から化学濃度などの重要なパラメータまで、エッチングプロセスのあらゆる側面を監視できます。高出力の電子駆動プラズマ源は、最小限の時間で高品質のエッチングを提供します。アッシング処理も非常に高速で一貫しています。このモデルには、過剰エッチングから保護するためにエッチング電源を自動的にシャットオフする安全機能も内蔵されています。この機器には高度なリモート診断機能も装備されており、ユーザーはデスクトップから直接リモート診断を開始できます。これにより、ユーザーはシステムのパフォーマンスを監視し、問題の迅速なトラブルシューティングを行うことができます。ユニットワン106Eは比類のない性能と信頼性を提供し、幅広い業界アプリケーションに最適なツールです。