中古 MATRIX System One 105 #9293401 を販売中
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ID: 9293401
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105は、金属仕上げ、硬質および軟質材料、表面処理、マーキング、エッチング、ラベリング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。幅広い用途に対応できる精密機械として機能します。統合されたコントローラはB&R PLC2制御を使用しており、信頼性が高く、正確で迅速な操作と多種多様な機能を提供します。これにより、エッチャー/アッシャーがスムーズに動作し、メンテナンスがほとんど必要ありません。スタンドアロンコントローラはユニット自体を操作し、付属のPCインターフェイスを介して監視することができます。これにより、システムのプログラムとセットアップが簡単になり、バッチ処理とリピート実行が可能になります。このユニットは、幅広い厚さのすべての材料をエッチング/asheringすることができます。それはステンレス鋼、アルミニウム、黄銅、プラスチック、ガラスおよび他の合成物のような柔らかく、堅い材料を、処理できます。機械の横の働く表面は1000mm x 800mmまでサイズの材料のシートを処理することを可能にします。クロスビームは、最大5つのツールを素早く変更でき、プロジェクト中に簡単に調整できるようにモーターを備えています。このユニットにはさまざまな機能があり、ユーザーが簡単にセットアップおよび操作できるようになっています。これはオンボードメモリ自己診断アラームを備えており、ユーザーにエラーを警告し、迅速に是正措置を講じることができます。また、処理されている材料とオペレータが安全であることを確認する安全ガードが付属しています。ツール全体がVDE/GS-であり、安全のためにDINに準拠しています。UVとIRダイオードレーザーシステムを組み合わせ、高い材料使用率で高精度な結果を得ることができます。UVレーザーソースを使用するとプラスチックを処理できますが、IRレーザーアセットを使用すると金属やガラスを処理できます。6つの作業ヘッド位置があり、同時かつ迅速な処理が可能です。ターゲット材料の複数のプールパターンは、処理を簡素化し、均一な表面仕上げを実現します。このモデルは、低メンテナンス設計で構築されており、ダウンタイムを最小限に抑えた安全で効率的な操作を可能にします。MATRIX Equipment Oneは、高速なターンアラウンドタイムと高品質の最終結果を提供できる強力なエッチャー/アッシャーです。これにより、さまざまな製造およびエンジニアリングアプリケーションでの使用に最適で、利便性、速度、精度を提供します。
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