中古 MATRIX System One 105 #9098082 を販売中

MATRIX Equipment One 105は、特殊なプラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーシステムです。このユニットは、ドライエッチングとウェットエッチングの両方のモードで動作でき、エッチングの深さと均一性を精密に制御できます。Machine One 105は、RF電源、プロセスチャンバー、コントローラモジュールの3つのコンポーネントで構成されています。RF電源は、基板に最大2.5kWの電力を供給し、最大5µmの深さのディープエッチングを可能にします。基板への電力は、エッチング用途に応じて、直接または金属ガスケットマスクを介しています。圧力シール室は、プラズマエッチングに最適な真空条件を保証します。このツール独自のコントローラモジュールにより、プラズマエッチング時間、プロセス圧力、総ガス流量、ガス組成などのプロセスパラメータを正確に制御でき、最大4つの発煙を独立して監視できます。さらに、高速サイクリング自動調整機能により、プロセス全体にわたって最適な処理条件が保証されます。この資産には、チャンバーを簡単に避難させるためのオンボード真空ポンプと、パラメータの簡単なデータ転送と制御を可能にするソフトウェアも含まれています。タッチスクリーン操作を備えた直感的なユーザーインターフェイスにより、初心者ユーザーは素早くエッチング処理を開始できます。MATRIX Model One 105は、単層誘電構造、浅いトレンチ絶縁、金属化、MEMS、集積回路生産など、幅広いエッチングおよびアッシング用途向けに設計されています。この強力な装置は、研究および産業用エッチング用途の両方に適しています。それは徹底的にテストされ、安全性と環境基準を満たすことが証明されており、アマチュアと専門家の両方にとって信頼できる選択肢となっています。