中古 MATRIX System 10 1177 #9398563 を販売中

MATRIX Equipment 10 1177は、ユーザーが簡単で効率的なプロセスでエッチングとアッシャーを可能にするように特別に設計されたエッチャーおよびアッシャーです。信頼でき、使いやすいシステムは反復的なエッチングおよびashing操作にとって理想的で、精密で、良質の結果を提供できます。ユニット10 1177は、エッチングとアッシングに必要なすべてのコンポーネントを収容するコンパクトなユニットで構成されています。これらには、陽極、陰極、アッシャー、エッチャー、および回収剤が含まれます。陽極と陰極は、対応する化学物質を格納する2つの貯水池に接続されています。エッチングすると、アノードはエッチャーに供給されたエッチング溶液を放出し、一連のジェットによってウェーハ表面に向けられてパターンを作成します。アッシャーは、ウエハの表面に堆積物のフィルムを堆積させるために使用されます。回収装置は余分なエチャント溶液を回収し、溶液貯水池に戻します。このマシンには多くの洗練された機能があり、ユーザーは正確な結果を得ることができます。これは完全に自動化されており、ユーザーはエッチングとアッシュの複数のサイクルをプログラムし、プロセスをリアルタイムで表示できます。また、エッチングとアッシングプロセス全体で均一な温度を保証する精密なコンピューター制御暖房ツールの利点もあります。MATRIX Asset 10 1177は、フッ素系エッチング剤、アルカリエッチング剤、ストリップ/蒸着溶液など、さまざまな化学物質との使用に最適化されています。13。56MHzの電源を備え、シリコン、窒化ガリウム、その他の材料など、さまざまな基板と互換性があります。また、職場の事故から保護するために設計された包括的な安全パッケージのメリットもあります。結論として、Model 10 1177は使いやすく、信頼性が高く、高精度なエッチャーとアッシャーです。さまざまな素材や基板のエッチングに最適化されており、高精度エッチングやアッシングプロセスに最適な高度な機能を多数備えています。