中古 MATRIX Jaguar 300MM #9220309 を販売中

MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asherは、ウェーハやパターン化された基板などの大型基板のエッチングおよびアッシング用に特別に設計された最先端のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、最小0。6 umまでエッチングを生成し、5インチから300ミリメートルの大型基板の範囲にわたって均一にエッチングされた表面を提供することができます。このユニットは、窒素、フッ化水素、リン、硫黄など、さまざまなエッチング化学物質を提供しています。Jaguar 300MMは、反応性イオンエッチング、電子サイクロトロン共鳴、プラズマエッチングなどの高度なエッチング技術を利用して、エッチング工程を最適な速度、品質、局所性に合わせて調整することができます。MATRIX Jaguar 300MMは、カセットステージ、ガスボックス、空気とポンプユーティリティ、チャンバー、高度な制御マシンなど、さまざまなサブシステムで構成されています。Cassette-Stageを使用すると、加工用のエッチングチャンバーに大きな基板をすばやく正確に配置でき、レベラー機構、カセットハンドル、真空チャックツールで構成されています。Gas Boxアセットは、チャンバーにエッチケミストリーを導入するためのメータードノズルを提供し、各種バルブとコントローラは、ガスとエッチケミストリーを反応させる際に精度の高い精度を提供します。モデルの空気およびポンプユーティリティは、チャンバーに不活性および不活性な雰囲気を提供し、空気ジェット冷却ターボ分子ラフィングポンプ、チタン駆動ロータリーポンプ、および他のいくつかのコンポーネントで構成されています。チャンバー装置は、エッチングおよびアッシング処理に最適化されたカスタム設計された環境で、電子サイクロトロン共振発生器、アンチレーダーおよびアライメント用の静電チャック、およびガス分布マニホールドで構成されています。高度な制御システムは、すべてのサブシステムを統合し、エッチングプロセスのリアルタイムデータ取得をユーザーに提供し、プロセスパラメータの最適化を可能にします。Jaguar 300MM Etcher/Asherは、優れた局所性とプロセス制御により、高スループットエッチングとアッシングが可能です。このユニットは、基板全体に優れたエッチプロファイルと均一性を提供するように設計されており、他のエッチングシステムと比較して優れた性能を発揮します。カセットステージ、ガスボックス、アドバンストコントロールマシンなどの先端技術を組み込むことで、エッチングとアッシングのプロセスを確実かつ正確に制御する強力で柔軟なプラットフォームをユーザーに提供します。MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asherを使用することで、ユーザーは大規模な基板のエッチングとアッシングのための最先端のツールを提供します。