中古 MATRIX Cheetah 200 #9400266 を販売中

MATRIX Cheetah 200は、高効率、高精度エッチング/アッシング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。幅510mm、奥行き690mm、高さ203mmのコンパクトなサイズです。Cheetah 200の構造は信頼できる非腐食性のステンレス鋼の部屋、ハンドルおよびハウジングから成っています。絶縁された部屋のふたは1200°C。までの温度レベルで作動している間厚く、レーザー切口アルミニウム構造、提供の外的な強さおよび封じ込めで構成されます。エッチャー/アッシャーには、特許取得済みのガス供給スクラブ装置が装備されており、チャンバーに到達する前にガスから超微粒子を濾過することで、清潔で信頼性の高いチャンバー雰囲気を作り出します。それはまた安全な労働環境を維持するために高度の部屋の温度警報が装備されています。MATRIX Cheetah 200は、精密に制御されたエッチング/灰のためのプレミアムエッチング/アッシング処理を備えています。その使いやすいモーションコントロールパラメータ設定は、エッチング/アッシングプロセスを正確に制御します。基板の上下に最大60分のエッチング/アッシング時間があり、1200°Cまでの温度線量範囲があります。Matix Cheetah 200には、タッチパッド制御インターフェースが装備されています。これにより、エッチング/アッシングパラメータ、停止するタイミング、プロセスの合計経過時間にアクセスできます。また、エッチング/アッシングプロセス中にチャンバーの雰囲気を保護するために使用されるCO 2フィードバックの制御を維持します。チャンバーは2つのハロゲンクォーツランプを介して加熱され、正確な温度と均一性を提供します。温度は1°C単位で調整可能で、組み込みデジタル熱電対を介して監視することができます。また、エッチング/アッシングプロセスの標準と全体的なユニットの信頼性を確保するためにチャンバーに冷却空気を供給する絶縁冷却システムが装備されています。エッチャー/アッシャーは、サンプルの積み下ろしとアンロードのための自動カセットマシンも備えています。最大25個の基板を同時に取り付けることができます。サンプルは、手動操作なしでカセットツールからロードおよびアンロードされます。すべてのプロセスが最適なエッチング/アッシングプロトコルに従うことを確実にするために、MATRIX Cheetah 200には、エッチング/アッシュごとに信頼性の高い再現可能な結果を達成するために検証およびテストされた事前にプログラムされた設定が装備されています。統合されたデータロギング資産により、トレーサビリティが容易になり、将来使用するための設定とレシピを保存することができます。エッチャー/アッシャーは、クリーニングサイクルを最小限に抑えて半自動で連続的に実行するように作られているため、次のエッチング/アッシングジョブで実行する準備ができています。Cheetah 200に優秀な長期プロセス安定性および均等性があり、一貫して信頼できる結果に導きます。