中古 MATRIX 403 #9250129 を販売中

MATRIX 403は、マイクロ/ナノ電子加工用に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。このオールインワンリソグラフィーシステムは、高解像度と再現性を備えた超微細な機能とパターンの作成に最適です。基板に精密パターンを生成するための直接書き込み、リフトオフ、正/負のレジストパターニング、多層処理、スパッタコーティング、酸化物エッチングを行うことができます。403は、任意の修復可能なライン/スペースパターンを生成することができる柔軟に設計されたパターンジェネレータを持っています。また、高精度かつ再現性を確保するための精密エッチングとアッシング用の専用の精密モーションコントロールシステムも含まれています。可変スピードモータドライバ、XYテーブル、ミクロン分解能変位センサなどの各種センサやコントローラを搭載し、精密なエッチングやアッシングのためにワークの変位を測定します。MATRIX 403は、高度なユーザー定義の缶シーケンスを使用する独立した正確なエッチャー/アッシャーで、誘電体、金属、ポリマーのドライエッチングで高効率です。ワークピース上のパターンの正確な位置決めとエッチングのためのコンピュータ制御XYステージを備えています。コンピュータ制御のステージとソフトウェアを組み合わせることで、再現可能な精度で超微細な機能を簡単に実現できます。403はまた、フォトレジストスピナー、コーティングシステム、水素プラズマシステム、ポストエッチングベーキングシステムなどの他のプロセスと統合して、エッチングのニーズに完全なソリューションを形成することもできます。強力なユーザーインターフェイス、コンパクトなデザイン、比較的低い所有コストを備えています。カスタマイズ可能な機能により、複雑な構造のエッチングおよびアッシング処理をさらに微調整できます。要するに、MATRIX 403は、基板上の超微細な特徴とパターンを迅速かつ正確に生成するように設計された堅牢で精密なエッチャー/アッシャーです。パワフルなパターンジェネレータ、精密なモーションコントロールシステム、使いやすいコンピューター制御のXYステージを搭載しており、他のプロセスと統合することで、より汎用性の高いパターニング機能を実現しています。ユーザーフレンドリーで低コストの設計により、403はマイクロ/ナノ電子加工に最適です。