中古 MATRIX 403 #14205 を販売中

MATRIX 403
ID: 14205
Etchers 200-240 Volts 50/60Hz 1 Phase Temperature controlled chuck Cassette loading Capable of 4" to 6" wafers Down Stream isotropic etcher for oxide, poly or nitride films ENI OEM 6 13.56 MHz RF generator BROOKS AUTOMATION 6100-36 handler ENI OEM-6M-11781 generator.
MATRIX 403エッチャー/アッシャーは、高度な生産産業向けに設計された、高度で多機能なドライエッチングツールです。高度なソフトウェアやハードウェアツールなど、多くのユニークな機能を備えているため、オペレータは生産ニーズを制御し、最高レベルの効率性を提供できます。403は、ドライエッチング処理とアッシングの両方を提供するように設計された自動エッチャー/アッシャーです。それは保護の0。8mmの熱境界層が付いている単一の部屋システムを特色にし、1000°C。までの均一なエッチングおよびashing温度を可能にします。SiO2、 SiN、 SiSiCなど、複数の基材において、エッチングの均一性を最大限に発揮する先進的な設計により、高精度なエッチングパターンに最適です。MATRIX 403は完全な制御のための作り付けのソフトウェアおよびハードウェアツールが付いている最高の多様性のために設計されています。このソフトウェアは、等方性エッチング、指向性エッチング、プロセス最適化などの複雑なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。あらかじめ定義されたプログラムは、エッチングとアッシングパラメータを完全に制御するために簡単に実装できます。チャンバー、ソース、ターゲットなどのハードウェアコンポーネントは、タッチスクリーンと簡単に交換可能なコンポーネントで設計されており、生産性を最大化し、汚染のリスクを低減します。403の洗練されたインターフェイスとコントロールパネルは、完全でユーザーフレンドリーな体験を提供します。ユーザーはプロセス関連の情報および変数に容易にアクセスでき、プロセスを監視し、すぐに設定を調節することを容易にします。また、標準的なモニタリングとフィードバックを備えており、迅速かつ効率的なトラブルシューティング、プロセス時間の最適化、全体的な効率の向上を可能にします。最大の安全性のために、MATRIX 403には、多数の緊急シャットダウンと通気オプション、およびチャンバーの回復のための高圧シールが付属しています。また、エッチングおよびアッシングシステムは柔軟なスケジューリングとアラームを提供し、自動操作を可能にし、故障部品を検出します。403はあらゆる生産の床へ大きい付加で、材料および基質の広い範囲のために適しています。高度な設計、安全機能、強力なツール、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、オペレータは最高の効率と安全基準で生産ニーズを迅速かつ効果的に満たすことができます。
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