中古 MATRIX 303 #9396142 を販売中

MATRIX 303は、オックスフォード・インスツルメンツが製造した完全自動エッチャー/アッシャーです。ナノスケール製造などの新技術で使用される幅広いフォトレジストやフィルムの迅速なエッチングを可能にするように設計されています。その結果、世界中の研究室で非常に求められているツールとなっています。303はいくつかのコンポーネントで構成されています。統合された真空カセットステーション、自動制御装置、クリーニングステーション、およびシステムの中心であるダイレクトライトリソグラフィーツールが含まれています。このツールは、x-yステージを使用してフォトマスクまたはフォトマスクを基板上に移動させ、20nmまでのフィーチャーサイズを迅速かつ正確にエッチングすることができます。高精度な画像アライメントを可能にするハイエンドイメージングユニットを搭載しており、ナノ加工に欠かせません。また、マスクアライメントマシンを搭載し、露出前にフォトマスクを正確に配置します。MATRIX 303に内蔵されたステンレス製カセットステーションにより、基板ホルダーを素早く簡単に機械に積み込むことができ、ウェーハの手動積み下ろしや高速エッチングが不要になります。自動化された制御ツールを使用すると、エッチング時間や圧力などの特定のパラメータを設定したり、エッチング処理の進行を監視したりできます。さらに、303に組み込まれた高度な洗浄アセットは、優れたエッチング性能を保証します。この2段階の洗浄プロセスは、エッチング工程による残留物を除去し、機器を保護し、基板の汚染を防ぐのに役立ちます。MATRIX 303は、ハイエンドの研究室や中小規模の生産に適した高性能で信頼性の高いツールです。その高度な機能、堅牢な構造と簡単な操作は、高精度と高速でエッチングする必要があるユーザーに最適です。