中古 MATRIX 303 #9297047 を販売中
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ID: 9297047
ウェーハサイズ: 4"-6"
Etcher, 4"-6"
Heated electrode
Parallel plate RF: 13.56 MHz
Generator: 600 Watts.
MATRIX 303は、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件向けに設計された精密エッチャー/アッシャーです。高精度・高精度の各種素材・基板に精密エッチング・アッシングを行うことができる、信頼性と堅牢性に優れた機械です。サイズ100mm(幅)×60mm(奥行き)×65mm(高さ)のステンレス製のチャンバーを備えています。303はガラス、金属(鉄および非鉄)およびプラスチックのような異なった材料をエッチングし、ashingできます。プログラマブルロジックコントローラ(PLC)をベースとした制御システムとタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、正確なパラメータによりプロセスを正確に制御できます。MATRIX 303は、2-5Aまでのアンペアを備えた40-60VACの電源を搭載しており、エッチング環境を電磁干渉から安全に保ちながら、高精度に大きな基板をエッチングすることができます。また、エッチングプロセスの迅速かつ安全なシャットダウンのためのスマートな緊急スイッチを備えています。エッチングおよびアッシング処理は、ガス流量レギュレータによって制御され、アルゴン、酸素、窒素などのさまざまなエッチングガス混合物を選択できます。ガス流量は0。3〜0。45L/minで、ガス圧力は0。2MPa〜0。6MPaまで設定可能です。303は最大限の汎用性と使いやすさのために設計されており、ユーザーはエッチングおよびアッシュされる材料に応じて速度、時間、パワーレベル、温度などのさまざまなパラメータを選択することができます。また、エッチングチャンバーに接続された真空ポンプを備えており、エッチングおよびアッシング処理中に安定した安全な雰囲気を保証します。MATRIX 303は、信頼性が高く、堅牢で汎用性の高い高精度エッチャー/アッシャーをお探しの方に最適です。一貫した精度と高精度で大型基板のエッチングやアッシングに最適です。その非常に直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイス、調整可能なパラメータと信頼性の高いコンポーネントで、303は、エッチングとアッシングプロセスを簡単に、効率的かつ安全にします。
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