中古 MATRIX 302 #293811877 を販売中

MATRIX 302エッチャー/アッシャーは、半導体製造用に設計された高性能ブロンズエッチャーおよびアッシャーです。これは、最大のスループットとプロセスの整合性を確保するために、多くの機能を備えています。302はダイカストで形造られたアルミニウムから組み立てられる頑丈なフレームを特色にし、剛性率および耐久性を提供します。モジュラーコンセプトで設計されており、様々なソリューションが可能です。広い作業面積を持つMATRIX 302は、最大7。5インチ（194mm）、最大20。4ポンド（9。2kg）の幅広い基板に対応できます。エッチャーは、プロセスの安定性を提供する作業領域全体で一貫した温度を維持するのに役立つ統合冷却システムで温度制御されています。そのPCL作動のコントローラーは温度、圧力、エッチング時間およびガスの流れを含むプロセス変数の多くを、調節する機能をユーザーに与えます；この制御と柔軟性の組み合わせにより、ユーザーは複数のプロセスを同時に実行できます。エッチャーは、クロス飽和を低減することで均一性を高める独自のマルチノズル絶縁機能を備えています。プロセスセキュリティのために、すべてのガス入力はマスフローコントローラを介してルーティングされ、最大8つのガスの安定した一貫した流れを提供します。302の大きなチャンバーは、高効率なプロセスのターンアラウンドのために迅速に避難するように設計されています。また、オーバーヘッド照明を提供し、基板の積み込みとプロセス開発の監視を容易にします。エッチャーは、相対的な使いやすさと操作性を考慮して設計されています。ユーザーが迅速かつ安全にプロセスを設定することができるタッチスクリーン制御および監視システムが装備されています。このシステムはまた、リモートのトラブルシューティングとプロセス監視を可能にし、予期しないプロセスが中断された場合のシャットダウン保護を含みます。MATRIX 302エッチャーは、大量のジョブを高速に回転させるために設計されています。汎用性の高い構成と低メンテナンスコストを提供し、信頼性の高い運用と長いライフサイクル性能を保証します。