中古 MATRIX 106 #9144783 を販売中

MATRIX 106は強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、高温1000°Cのオールセラミック反応チューブを使用して、正確で信頼性の高いエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように特別に設計されています。反応管に均一な温度のプロフィールがあり、850°Cと1000°Cの間の管状ランプによって一貫して熱されます。さらに、冷却と再加熱のサイクルを設定し、マイクロプロセッサを制御することができます。反応チャンバーは、基板にエッチングするための円筒形と中心軸で設計されています。また、エッチングおよびアッシング工程の性質に応じて、基板全体にわたって均一な温度と最適なエッチング率が達成されるように設計されています。106はまた、反応管が均一な温度にとどまり、温度プロファイルが一貫していることを保証するために、強制空気冷却剤を備えた冷却システムを備えています。さらに、可変スピードポンプを内蔵し、冷却ファンを調整して反応管の速度と温度を調節することができます。オールセラミック反応管には、化学エッチング用の酸化アルミニウムや、さまざまな材料や基材のアッシング処理用の二酸化ケイ素が内部でコーティングされています。MATRIX 106のユーザーインターフェイスは非常に使いやすいです。これには、時間と温度を設定し、プロセスを監視するためのLCDスクリーンが含まれています。さらに、プロセスとシステムの安全機能を制御するために、一連の物理スイッチとボタンが用意されています。これらのすべてのコントロールは、ユーザーが最小限のトレーニングで簡単に操作できるように、マシンの前面に便利に配置されています。106はまた安全な操作のための安全機能の配列を含んでいます。圧力スイッチは反応チューブの過剰な圧力を検出するために設置されていますが、バルブは潜在的な漏れを制御またはブロックするために提供されます。その他の機能には、圧力リレーと電源へのアクセスを制御し、重大な状況が発生したときに直ちにオフにする緊急電源スイッチがあります。全体として、MATRIX 106は信頼性が高く強力なエッチャー/アッシャーです。その先進的な機能と安全機能により、幅広い材料や基板のエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。