中古 MATRIX 105 #9032614 を販売中

MATRIX 105エッチャー/アッシャーは半導体の製造業および他のマイクロエレクトロニクスの適用で使用される高度の化学エッチングおよびアッシング装置です。ウェットケミカルエッチングの精度を取り、ドライエッチング技術の加工速度と組み合わせます。このシステムは、最大6つの真空ポートとロードロックユニットを備えた超高真空プロセスチャンバーを採用しています。これにより、不活性、反応性、乾燥および湿潤プロセスを効率的かつクリーンに実行することができます。エッチング室内では、エッチング工程を管理するために洗練されたロボティクスマシンを使用しています。このロボットは、最適なエッチング品質のために、ウェーハ、基板、およびその他のエッチング部品を可変速度で正確かつ正確に移動するようにプログラムされています。これにより、均一な深さで高いエッチレートが得られ、エッチプロファイルに沿ってクリーンになります。105はashingおよび重いエッチングプロセスを動かすように設計されています。アッシング（Ashing）とは、酸化物などのポリシリコンの非導電層を表面から除去するプロセスである。表面をさらに加工するためにはアッシングが必要です。重いエッチングは、ウェーハ、基板、その他の材料にパターンや形状を作成するために使用されます。このツールは、パルスモードエッチングを使用して、エッチングの深さと完全性を正確に制御し、最も効率的で正確なエッチング処理を行うことができます。MATRIX 105には、粒子の汚染を低減し、エッチングの均一性を向上させるコールドウォール機能もあります。冷たい壁は熱効果を減らし、プロフィールの均一性を改善する部屋内の熱レベルを減らします。さらに、重要なエッチング処理では、ガスフローエンドポイント検出（GFED）を有効にして監視し、正確なエッチング終了点を確保できます。最後に、制御および測定機能の完全なスイートは、105をその種の最も先進的なシステムの1つにします。圧力、温度、電圧、電流などのプロセスパラメータを検出して記録できる使いやすいプロセスモニタを備えています。その後、このデータを保存して分析することで、各エッチングおよびアッシングアプリケーションで可能な限り最良の結果を得ることができます。