中古 MATRIX 105 #293827893 を販売中

MATRIX 105
ID: 293827893
ウェーハサイズ: 4"-6"
Ashers, 4"-6" Pump / Blower models: D40BCS.
MATRIX 105は金属およびプラスチック基質の精密取り外し、沈殿およびashingのために使用されるエッチャーおよびasherです。高精度で操作が簡単なクローズドループ式マイクロメーターステージを備えており、エッチングおよびアッシングプロセスを制御および監視するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。105は、エッチングとアッシングのオプションの広い範囲を提供しています。その熱処理装置は、金属とプラスチック基板の両方のエッチングとアッシングのための均一な温度を提供します。そのグラフィカルユーザーインターフェイスは、正確かつ正確なリアルタイムプロセス監視と制御を可能にし、高精度な作業のための繰り返し可能なプロセス結果を提供します。MATRIX 105は、大型基板部のエッチングおよびアッシング用のデュアルバスガスアッシングシステムを搭載しています。これにより、迅速かつ一貫したプロセスが可能になり、マイクロステージはエッチングおよびアッシングアプリケーションを正確に制御します。二重シムステージは、例えば、様々な領域でエッチングの異なる深さを適用する能力と非常に複雑な地形を持つ基板の正確なエッチングを可能にします。105に基質の処理の容易な観察のための良質の光学港があります。その光学ポートは、いくつかの倍率を使用することを可能にする3つの交換レンズの配列を持っています。このポートにはオートフォーカスとオートイルミネーションが搭載されており、ストロボライト機能により基板のエッチングとアッシングをリアルタイムで監視できます。MATRIX 105は、他のエッチングおよびアッシング方法と比較して、基板にエッチングおよびアッシングするためのより複雑な詳細を可能にする低温エッチングおよびアッシング処理を実行することができます。低温エッチングとアッシングは一貫した結果を生み出し、高精度で精度の高い非常に小さな構造のエッチングとアッシングを可能にします。また、エッチング・アッシング用の基板面積が大きく、大型基板のエッチング・アッシングが可能です。また、統合された真空機械と精密な温度制御が含まれており、エッチングおよびアッシング処理を補完し、オペレータ入力を最小限に抑えて優れた再現性と精度を提供します。全体として、105は優れたエッチングおよびアッシングツールであり、リアルタイムで観察できる金属およびプラスチック基板の精密基板エッチングおよびアッシングを提供します。精度、精度、一貫性、柔軟性を兼ね備えているため、基板の精密除去、成膜、アッシングに最適です。
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