中古 MATRIX 105 #188833 を販売中

ID: 188833
ウェーハサイズ: 6"
Dry resist stripper, 6" Down stream.
MATRIX 105は製造業の使用のために設計されている高精度のエッチャーおよびasherです。高度なプロトタイピング、少量生産、高複雑部品の生産に最適です。105は自動化されたローディングおよび荷を下す機能、またより大きい区域の均一な深さのための優秀なイオンエネルギーおよびビーム均一性を提供します。MATRIX 105は、プログラマブルグリッド電圧を備えたRF誘導プラズマソースを使用しており、お客様の要件に合わせて正確に調整できます。その調整可能なプロセスパラメータにより、プロセスの安定性が向上し、エッチングおよびアッシングプロセスの精度が向上します。多言語ユーザーインターフェイスにより、機械の操作が容易になり、直感的なユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれます。DRAMゲートエッチング、ウェーハ研磨、エッチング穴加工など、各種エッチング・アッシング用途に適しています。105は優秀な動き制御および正確さを提供する回転式インデクサーおよび線形同期モーターが装備されています。ワークは2ピースクランプで固定されているため、かさばるマイクロマニピュレータを使用する必要がなくなり、リピータビリティがさらに向上し、エッチングチャンバーの読み込み時間が短縮されます。また、安全を確保し、長期的な運用信頼性を維持する保護システムの配列が装備されています。MATRIX 105は、塩素、酸素、酸素などのさまざまなエッチングガスに、イオンエネルギー、イオン爆撃表面温度、エッチレートの均一性、再現性などのさまざまなパラメータを使用できます。プロセスパラメータを要件に合わせて調整し、最高品質の結果で細かい制御を実現できます。ガラス、セラミックス、ポリマー、金属などの複数の基板に対応しています。全体として、105は高度なエッチング/アッシング用途に最適です。調整可能なプロセスパラメータと自動ローディングおよびアンロード機能により、このエッチャーとアッシャーは、正確で高品質な結果を得るための理想的な選択肢となります。これにより、製造メーカはオーバーヘッドの削減と効率の向上を可能にし、よりスマートなビジネス上の意思決定と生産サイクルの短縮を可能にします。
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