中古 MARCH XTRAK #9258237 を販売中

MARCH XTRAKは、最新の半導体設備のために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この精密ツールは、各アプリケーションの要件に合わせた高スループットエッチングとアッシングプロセスを提供します。XTRAKはカスタム設計された高温炉を備え、高精度で多軸のモーションステージに取り付けられ、レーザーメタルエッチャーを装備しています。これにより、真の3Dジオメトリでプロセスを完了し、比類のない精度と精度を実現できます。MARCH XTRAKは、中型ウェーハでは最大80KW、大型ウェーハでは最大91KWを誇ります。XTRAKは、金属エッチング、フォトリソグラフィーエッチング、アニーリング、スパッタ成膜、パターン編集など、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセス用に設計されています。この高精度マシンは、比類のない解像度でパターンを生成することができます。MARCH XTRAKはまた、パターンがエッチングされる前に表面を迅速かつ効果的に洗浄するように設計された統合基板洗浄システムを提供しています。これにより、ウェーハ上で最適な結果を得ることができます。XTRAKは、安全性とオペレータ保護を念頭に置いて設計されています。このツールの便利なPLC制御システムは、工場のオートメーションシステムと統合され、堅牢な安全性と規制フレームワークを提供します。これにより、すべての安全手順が順守され、すべての操作がスムーズに行われるようになります。MARCH XTRAKは、人員保護のためのポリイミドドアも備えています。全体として、XTRAKは優れたエッチャー/アッシャーソリューションであり、半導体ファシリティに比類のないレベルの精度と精度を提供するように設計されています。このツールは、優れた電力摂取量、優れた安全機能を提供し、高スループットエッチングおよびアッシング用途に最適なプラットフォームを提供します。フォトリソグラフィーエッチング、スパッタ成膜、アニール、パターン編集を行う必要があるかどうかにかかわらず、MARCH XTRAKはプレミアムな結果に最適です。