中古 MARCH Super Plasmod #9089873 を販売中

MARCH Super Plasmodは、幅広い用途に適した正確で正確なエッチングとアッシングを提供するように設計されたエッチャーおよびアッシャーです。オールインワンのエッチング&アッシング機器で、迅速なサイクルタイム、拡張可能な職場、多種多様なプロセスレシピを提供できます。Super Plasmodの広々とした水晶ホットゾーンは、2°C以内の温度制御精度で一貫したプロセス結果を保証します。また、可変周波数プラズマ発生器を備えているため、アプリケーションに適したプラズマ周波数を簡単に調整できます。MARCH Super Plasmodのデュアルガスデリバリーシステムは、化学エッチングプロセスの流れごとに、ガスの圧力、総ガスの流れ、反応ガスの流れ、ガスのバランスを制御するさまざまな前駆ガスと不活性ガスを提供します。このユニットはまた、特別に設計されたシャワーヘッドを使用して、ターゲット基板上で均一な前駆体の配達を提供します。また、プロセスモニターが内蔵されており、総ガス圧、総ガスフロー、基板バイアス電圧を記録し、ユーザーが最高のエッチング結果を得ることができます。スーパープラスモッドには、エッチングおよびアッシング処理を監視するためのフルサイズのビューポートと、汚染を低減するためのデュアル真空ツールが装備されています。また、エッチングチャンバーが外部電源にさらされないように自動化されたクリーニングアセットも備えています。MARCH Super Plasmodは、モーション検出器、クローズドループ水再循環モデル、緊急シャットオフスイッチなど、複数の安全メカニズムを備えています。さらに、この機器はステップバイステップの操作指示や多言語操作など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を備えています。ユーザーが毎回一貫性のある結果を得るために、Super Plasmodには調整可能なパラメータディバイダーがあり、ユーザーはさまざまなレシピのさまざまなパラメーターを入力して保存できます。MARCH Super Plasmodは、産業用および学術用の両方に最適な高度なエッチングおよびアッシングシステムです。エッチングおよびアッシング処理に必要なすべてのパラメータを正確かつ正確に制御し、高度な安全機能とユーザーフレンドリーな設計機能を備えています。