中古 MARCH PX-500 #9176784 を販売中

MARCH PX-500は、高精度の大面積の加工に特化した高度なエッチャー/アッシャーです。強力なレーザー装置のおかげで、このシステムは高いスループットで精密パターニングが可能です。パルス幅とパルス反復周波数がそれぞれ10 μ s、 50kHzのレーザダイオードを採用し、可変レーザー電源設定が可能です。また、高効率加熱機とマルチゾーン温度コントローラを備えています。これにより、エッチング/アッシングプロセスの速度を調節することが可能になり、プロセスの再現性が向上します。MARCH PX 500は、500 x 500 mmの大きな加工面積を備えており、非常に均一なエッチング深さを提供します。また、1/8ステップ設定で5 μ mの高解像度を備えています。このツールは、Si、ガラス、金属、ITO、ダイヤモンド、およびその他の一般的な基板を含む幅広い材料をサポートしています。これは、RIEプロセスとICPプロセスの両方に等しく適用されます。また、大型ローディングトレイと自動ハンドリングシステムにより、量産効率が高くなります。PX-500には最新のPXソフトウェアパッケージが付属しており、グラフィカルなユーザーフレンドリーなインターフェイスと強力なパターン編集機能を提供します。また、GDSIIやCADなどの様々なデータ入力インターフェイスにも対応しており、ダイレクトで簡単な読み取りと編集が可能です。より複雑なプロセスでは、自動パラメータ最適化（APO）技術を利用できます。PX 500はインテルCore i5プロセッサーによって駆動され、高い計算速度を実現します。さらに、MARCH PX-500は、チャンバー内蔵のレーザー安全シャッターや目の保護など、さまざまなユーザーフレンドリーな安全機能を備えています。アクセシビリティを向上させるために、アセットは窒素エンクロージャ、プロファイラや反射率測定などの便利な診断ツールで設計されています。さらに、同社が提供するアフターサポートは、迅速かつ正確な応答を保証します。MARCH PX 500エッチャー/アッシャーは、高度でユーザーフレンドリーなモデルで、広い領域の高精度パターニングに適しています。高いスループットと低い材料損失率を必要とするプロセスに最適です。