中古 MARCH PX-500 #194996 を販売中

MARCH PX-500はエッチャー/アッシャーで、様々なエッチング/アッシング操作に対応します。このデバイスは、アルミニウム、ステンレス鋼を処理し、フォトレジスト、シールド、保護フィルムなど、さまざまなフィルムタイプの複合材料を選択することができます。MARCH PX 500は、小さなコインサイズからより大きなアレイのサイズまで、複数のパネルサイズをサポートできる大型の加熱プロセスチャンバーを備えています。上部パネル搬送装置は、加熱されたプロセスチャンバーに製品を移動するように設計されています。このシステムには、リフトピン、モーター、ベルトフィーダが含まれており、パネルの位置合わせ精度を保証します。部屋は均一なエッチングおよびashingを保障するためにアルゴンか窒素ガスと加圧されます。PX-500はまた、エッチングの非常に微細な分解能を可能にする高出力エッチングユニットを誇っています、1ミクロニスまで。アッシングマシンは高度に構成されており、急速なサーマルアッシングと無線周波数アッシングの両方を可能にします。これらのプロセスはどちらも、可能な限り最高のウェーハ清浄性を実現するように設計されています。PX 500は、エッチングヘッドを正確に配置するために強力で高精度なモーションツールを使用し、金属シールドマスクとアブレーションマスクを正確な部分に配置します。これにより、部品のエッチングとアッシングが非常に正確になります。MARCH PX-500は、エッチングとアッシングのあらゆる側面を制御する強力な16ビットのマイクロプロセッサも備えています。これには、直感的なタッチスクリーンインターフェイス、レシピプログラミング、包括的なオートメーションが含まれます。MARCH PX 500には診断機能が内蔵されており、メンテナンスとサービスをより簡単かつ効率的に行い、最大限の稼働時間を確保します。PX-500は堅牢な構造を持ち、1年間の保証に裏打ちされています。さまざまな生産アプリケーションに最適な信頼性と高効率のエッチャー/アッシャーです。