中古 MARCH PX-250 #9233379 を販売中

MARCH PX-250は、要求の厳しい産業用途において信頼性と再現性の高い性能を実現するために設計された精密エッチャー/アッシャーです。堅牢な3ゾーンのホットウォール設計により、優れたエッチング結果を保証します。MARCH PX 250には、高温炉とゾーンごとに4つの異なる発熱体が装備されています。炉に周囲からの1000°Cへの温度較差があり、発熱体は1100°Cまで温度に達することができます。さらに、エッチャーにはプログラム可能なピーク温度率があり、加熱速度を正確に制御できます。統合されたPLC制御システムは、ユーザーが再現性を確保するために正確なパラメータをプログラムすることができます。PX-250は、基板の正確なアライメントのための高解像度CCDカメラも備えています。カメラは、中心加重またはエッジ加重アライメントのいずれかに設定できます。その後、エッチング用の高温炉の下に基板を搬送します。プロセスチャンバー内の圧力は圧力レギュレータによって調整され、精密なエッチング環境を確保します。PX 250の先進的な設計には、-600ミリバーという低圧のオプションの亜大気圧を備えた統合プロセスガスデリバリーシステムも搭載されています。さまざまなプロセスガスは、異なる基板をエッチングするためにオンデマンドでプロセスチャンバーに供給することができます。エッチャーから危険な副産物を除去するために使用できるガス排気システムも組み込まれています。MARCH PX-250は、低熱探査で精密なエッチング結果を得るために設計されています。堅牢な構造と統合された高度な機能により、太陽電池製造、PCB加工、半導体デバイス製造などの幅広い産業用途に最適です。その精度と再現性は、これらの業界のメーカーによって非常に求められています。