中古 MARCH PX-250 #9156391 を販売中

MARCH PX-250は、産業用から医療用まで、さまざまな用途に対応した高度な乾燥処理機能を提供するよう設計されたエッチャーアッシャー装置です。この効率的で費用対効果の高いツールは、4つの異なるプロセス技術を使用してさまざまな基板上に正確で一貫したプロファイルを作成し、望ましい結果を達成します。このシステムは、電源、抵抗ヒーター、真空チャンバー、および2つの統合されたエッチングおよび灰色チャンバーを含むハイテク部品を使用して、優れた動作と性能を提供します。MARCH PX 250の特徴は、エッチング性能とアッシャー性能の高さです。このユニットは、エッチングチャンバー内の温度が一貫しており、エッチングおよびアッシングプロセスに安全であることを保証するために、抵抗ヒーターと密接結合された高出力真空チャンバを採用しています。さらに、機械は自己調整しており、ユーザーが温度、ガスの流れ、圧力、堆積サイクル時間などのパラメータを調整できるようにローカルコントロールが含まれています。さらに、各エッチングおよびアッシャープロセスが安全かつ適切に完了するように、ツール全体をコンピュータ支援手順で制御します。アセットには、2つの独立したエッチングとアッシャーチャンバーも組み込まれています。各チャンバーは異なるプロセス技術を使用しており、オペレータはエッチガスとアッシャーガス種の濃度を制御することができます。チャンバーの個別の発熱体は、プロセス全体にわたって適切なガスプロファイルを維持するのにも役立ちます。さらに、このチャンバーには、ナノメートル精密エッチングを提供するためのリモートプラズマエッチングが含まれています。エッチャーはまた、サイクルあたりの中間周波数パルスを生成し、オペレータはより良い結果を得るためにプロセスを微調整することができます。PX-250は、プロセスをより効率的にするためのさまざまな機能を提供します。その自動ガスクラバーは、チャンバーに入る前にプロセスガスを除去し、クリーナーエッチングとアッシャープロセスを可能にします。さらに、このモデルのガス制御機構により、圧力を正確に制御することができ、高度な大気規制によりプロセスの安定性が向上します。最後に、PX 250は、ウェハバッチローダーやウェハシングルローダーなどの追加のマテリアルハンドリングシステムと組み合わせることで、乾燥処理タスクを合理化できます。結論として、MARCH PX-250は高度なエッチングとアッシャー機能を提供する高性能の乾燥処理ツールです。このエッチャーアッシャー装置は、4つの異なるプロセス技術を使用して、さまざまな基板の精度と調整可能なパラメータを達成し、ユーザーが希望する結果を得ることができます。さらに、このシステムには、独立して加熱されたエッチングとアッシャーチャンバー、自動ガスクラバー、およびナノメートル精密エッチングを提供するリモートプラズマエッチングが含まれています。