中古 MARCH PX-1000E8 #9145023 を販売中

MARCH PX-1000E8は4代目エッチャー/アッシャーです。それは優秀なエッチングおよびashing質および性能を提供するために設計される信頼できる、精密装置です。シリコン、III-V材料、マイクロエレクトロニクスインターコネクトのエッチングやアッシングなど、半導体業界の幅広い用途に適しています。MARCH PX 1000E8は、強力で低圧、超純度のケミカルエッチングとアッシングシステムを備えています。一体型の高温抵抗エッチング・アッシング室、高分解能・低ノイズ光学顕微鏡、基板積み降ろし用の複数ポート、オペレータ介入のない基板積載用の自動積載機構、プロセスパラメータのプログラミングを容易にする自動制御インタフェースを備えています。PX-1000 E8は、化学薬品の汚染と希釈を最小限に抑えながら、均一で制御可能なエッチングとアッシングを提供するように設計されています。トップオブラインのミラーコーティングを採用し、化学吸収を低減し、下面レジストエッチングやアッシングなどの工程の均一性を高めます。これには、温度、流量、圧力などの調整可能なプロセスパラメータとベークハウス機能が含まれており、ユーザーはプロセスを迅速かつ正確に調整して最適化することができます。3月 PX-1000 E8には、自動安全シャットオフ、ガスシールド、内部圧力および温度センサーなどの高度な安全機能も含まれています。この機能により、マシンは常に安全なパラメータ内で動作し、エッチングおよびアッシングチャンバーへの早期の損傷を防ぎます。エッチングとアッシングに加えて、PX 1000E8を使用して、成膜、レジストストリッピング、狭帯域コーティングを強化することができます。このツールの高度な制御インターフェイスと自動ローディングメカニズムが組み合わされ、複雑なエッチングとアッシングプロセスをシームレスに自動化します。MARCH PX 1000 E 8は、高性能プロセスを必要とする半導体メーカー向けの効率的で信頼性の高いエッチング/アシングツールです。その高度な機能と堅牢な安全システムにより、資産はピーク効率で動作し、一貫して優れた結果をもたらすことができます。