中古 MARCH PX-1000E8 #9083266 を販売中

MARCH PX-1000E8は、高精度エッチングおよびアッシング処理用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。半導体製造オペレーションの厳しい要件を満たすように設計されており、高い歩留まりとデバイス歩留まりの信頼性のための優れたエッチングと灰の均一性を提供します。MARCH PX 1000E8は、高度な真空プロセスとプラズマプロセスを組み合わせて、比類のないレベルの化学選択性、スループット、および均一性を提供します。高度なVCVDプロセス、温度制御ガスカーテン、外部機器とのデジタル通信などの技術の進歩により、PX-1000 E8は、高品質の表面を一貫して提供しながら、前例のないエッチング速度を実現します。MARCH PX-1000 E8は、使いやすい10。4インチのタッチスクリーンインターフェイスを備えており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーはエッチング手順ごとにレシピを簡単かつ迅速に作成できます。MARCH PX 1000 E 8の強力なソフトウェアと最先端のハードウェアは、プロセスの柔軟性、拡張性、およびプロセスのパフォーマンスの向上をユーザーに提供します。また、システムでは、ファブリケーターに完全なエッチングと灰のソリューションを提供するために、オプションの追加の真空ポンプです。このユニットには、2つのチャンバーサイズ（16「および25」）が装備されているため、エッチングのニーズに応じてエッチングチャンバーを柔軟に構成できます。最大のチャンバーサイズは、高いウェーハ収率のための汎用性を高め、16インチのチャンバーは小さなフットプリントプロセスをサポートします。チャンバー高さ1。2mで、最大600個のウェーハをマシンに搭載することができ、高スループット生産が可能です。PX 1000E8は、自動廃棄物の回収と回収袋を備えた便利な廃棄物処理ツールを提供しています。廃棄物収集袋は、エッチングやアッシング処理を中断することなく、資産の前面から取り外すことができます。これにより、エッチング残留物の処理が容易になり、周辺環境の清潔性と安全性が確保されます。信頼性と製品モニタリングを保証するために、PX-1000E8には2台のカメラが装備されており、エッチングおよびアッシング手順中にリアルタイムの現場品質保証を提供します。また、遠隔監視装置を使用して操作することができ、ユーザーはシステムに安全にアクセスすることができます。PX 1000 E 8は、高精度エッチングおよびアッシング処理用の優れたエッチャー/アッシャーユニットで、半導体製造工程において卓越した性能と信頼性を提供します。高度なVCVDプロセス、温度制御ガスカーテン、外部機器とのデジタル通信、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、および便利な廃棄物ハンドリングマシンを備えたMARCH PX-1000E8は、信頼性の高いデバイス収率と優れたデバイス品質を達成するための膨大なスケーラビリティと柔軟性を提供します。