中古 MARCH PX-1000 #9196103 を販売中
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MARCH PX-1000は、研究開発のための高度なエッチャーまたはアッシャーです。半導体デバイスなどの部品に複雑な形状を正確にエッチングするように設計されています。MARCH PX 1000は、デジタル光学機器を使用して、回路を作成する過程で高精度のエッチングまたはアッシングのステップを提供します。PX-1000は、レーザーベースのシステムを使用して、材料または基板に正確にエッチングします。このレーザーソースは、最大20Hzのパルス反復速度を持つNd-Yagレーザーで構成されています。ビーム周波数は532nmから266nmに倍増し、0。1umと5mmの間で変調する能力を持っています。レーザー力は20と200mWの間で調節可能で、異なった材料およびプロセスステップを考慮するために調節することができます。PX 1000には、レーザー出力、ステップサイズ、露光時間、一時停止、繰り返しを正確に制御できる制御ユニットが装備されています。この制御機械はまた大きい形を要求する高度パターンかパターンのための連続的なステッパー動きを可能にします。エッチングサイクルの開始時にレーザーフォーカスを基板に調整し、精度を確保するデジタルオートフォーカスツールを備えています。安全のため、MARCH PX-1000にはパルス保護アセットとロックアウト機能もあります。パルス保護モデルは、オペレータを偶発的な害から保護するために、あらかじめ定義された電力しきい値を超えた場合、レーザーを停止します。ロックアウト機能により、オペレータが即時作業エリアにない場合、レーザーの動作を妨げます。MARCH PX 1000は、半導体やその他の電子部品に使用されるほとんどの材料を効果的かつ迅速に処理することができます。硬質セラミックス、めっき金属、積層材料、ポリイミドで特に効率的です。このエッチングマシンの性能と速度は、ユーザーのスキルレベルと処理中の基材の解像度によってのみ制限されます。
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