中古 MARCH PX-1000 #9156371 を販売中

MARCH PX-1000はエッチャー/アッシャーであり、シリコン、プラスチック、ガラス、金属などの異なる材料からのエッチングおよび灰の基板に使用されます。高精度で5ミクロン程度のエッチングが可能です。MARCH PX 1000には、20x20インチの領域を保持できる真空チャンバーがあります。部屋は温度制御され、優秀なプロセス制御を提供します。PX-1000は、材料が電力にさらされたときにプラズマ環境を生成するために使用されるRF電源を使用します。プラズマ環境により、エッチングおよびアッシング作業を効率的かつ産業レベルで処理することができます。PX 1000は、プロセス温度、圧力、電力レベルなどのパラメータを調整するための使いやすいユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。エッチングおよびアッシング工程で使用されるほとんどのガスと互換性があります。また、操作の安全性を確保するために、複数のインターロックを備えた強力な安全制御システムを備えています。MARCH PX-1000は、複数のガスを同時に使用できるマルチプレックスガス管理システムを採用しており、複雑なエッチングやアッシング作業に対応できます。MARCH PX 1000には自動読み込み機能が搭載されており、複数の材料を素早く簡単に読み込むことができます。それはまた、チャンバーの特別な排気ニーズを管理することができる排気システムを持っています。PX-1000には、長期的なエッチング制御を含むいくつかのオプション機能があり、エッチング操作の期間を監視し、最適な生産効率を制御することができます。要するに、PX 1000は非常に信頼性が高く、汎用性の高いエッチング/アッシャー基板プロセッサです。5ミクロン程度のエッチングが可能で、部品の工業生産に最適です。MARCH PX-1000には、複数の安全機能と制御オプションが装備されており、エッチングとアッシング作業に信頼性が高く効率的なオプションです。