中古 MARCH PX-1000 #9111369 を販売中
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ID: 9111369
Plasma cleaner
(1) set of Power and Ground Shelves
All standard system features
(2) MFC Controllers
Options available:
1000 Watt ACG10B RF Generator
Additional Shelf Sets
Additional MFC Controllers
Vacuum pumps for Oxygen service
Hydrocarbon pumps for non- Oxygen Plasma processes
Vertical door system.
MARCH PX-1000は、ウェーハ製造や半導体製造に最適な、洗練されたエッチャー/アッシャーです。正確で高品質な結果を迅速かつ効率的に作成するための完璧なツールです。MARCH PX 1000は「アグレッシブ」なエッチング機能を備えており、金属基板とシリコン基板の両方に優れた速度と精度でエッチングすることができます。エッチング面積は1000×600mmで、一度に多数の基板をエッチングすることができます。エッチングはパワフルな3相DCモーターで駆動され、必要な精度を提供するために調整することができます。エッチャーには、作業中にオペレータを安全に保ついくつかの安全機能が装備されています。これには、安全扉が開いているときに電源を無効にするインターロックシステムと、起動したときにデバイスを直ちにシャットダウンするEストップが含まれています。また、温度レベルを維持する冷却システムも含まれており、コンポーネントが高温になるのを防ぎ、損傷するリスクがあります。コントロールの面では、PX-1000は信じられないほどユーザーフレンドリーです。必要な設定をすべて表示し、幅広い設定にアクセスできるタッチスクリーンで動作し、さまざまなエッチングタスクのパラメーターを調整できます。また、エッチングレシピをプリプログラムし、操作をさらに簡単にすることができます。さらに、PX 1000にはマイクロプロセッサが内蔵されており、エッチングの進行状況を監視し、基板パラメータ(温度、圧力、湿度など)を追跡し、エッチングデータを記録して結果を記録し、必要な調整を行うことができます。結論として、MARCH PX-1000は、ウェーハ製造および半導体製造に最適なツールで、最大1000 x 600mmの効率的で高精度なエッチングを安全かつユーザーフレンドリーに提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、詳細な監視とドキュメント機能を提供するマイクロプロセッサによってさらに補完され、強力で汎用性の高いエッチャーになります。
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