中古 MARCH PX-1000 #9100080 を販売中

MARCH PX-1000 Asher/Etcherは、半導体ウェーハのアッシング（有機材料の除去）とエッチング（金属材料の除去）の両方に使用されるクラス10のクリーンルーム互換性、高収率、完全自動装置です。MARCH PX 1000は、ウェーハをクリーニングするように設計されており、さらなる製造工程に備えています。PX-1000は、高度な半導体デバイスの製造に利用可能な最高のスループットとクリーンな処理を提供します。PX 1000のユニークなチャンバー設計は、ウェーハをバッチとして回転させ、ウェーハ表面に化学物質を均等に分散させ、均一なエッチングとアッシングの結果を保証します。MARCH PX-1000は、処理バリエーションを考慮して+-2°Cの範囲内で温度制御を提供します。また、実績のあるフロー制御により、ウェーハに化学物質を堆積させることさえできます。MARCH PX 1000には、クリーンルームの互換性を保証するキャリアロードポートが装備されており、ユーザーは1回に最大8つのカセットをロードでき、システムのスループットを大幅に向上させます。また、プロセスシーケンス開始前にウェーハの存在を検出するウェーハセンススイッチを搭載し、エッチング/アッシングプロセス中の電力および温度設定を監視し、最適な結果を保証します。PX-1000には、高度な精密タイミングメカニズムと洗練されたソフトウェアパッケージが付属しており、エッチング/アッシングプロセスを正確に監視して迅速かつ簡単にセットアップできます。PX 1000は、エッチング/アッシングを強化するために微調整できる精密な温度制御を提供し、エッチング/灰の最大数が得られると自動的にプロセスをシャットダウンします。最後に、MARCH PX-1000 Asher/Etcherには、可燃性または可燃性の材料を使用していてもツールが安全に使用できるようにする空中冷却機を含む多くの安全機能が装備されています。このアセットは、さまざまな分析要件に対応する柔軟なオートメーションオプションも提供しているため、モデルをユーザーの特定のニーズに合わせて簡単に調整できます。